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公开(公告)号：CN103499282B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310475522.2
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 三光轴回位及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使三条标准测量光束的空气折射率平均值更接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；微动装置根据三个光束位置探测器测量出衍生位移平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，保证目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
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公开(公告)号：CN103528505B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310475571.6
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 四光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正四棱柱侧棱形式分布的四条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，四条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使四条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中，保证线位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN102865820B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201210347021.1
申请日：2012-09-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于光路补偿的激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域；本发明采用了空间分离的参考光和测量光，并进行光路补偿设计，同时该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号，并根据被测目标的运动方向和速度，选择性使用两测量信号来进行干涉测量；本发明不仅减小了温度变化对测量的影响，而且消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度；同时解决了激光光源频差对测量速度限制的问题。
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公开(公告)号：CN104049251A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410263645.4
申请日：2014-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S11/12
CPC classification number: G01S11/12
Abstract: 抗光学混叠的多频激光测距装置与方法属于相位激光测距技术，所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元；其测距方法包括步骤如下：步骤一、开启频率基准激光器和He-Ne激光器；步骤二、一束作为参考激光束，另一束作为测量激光；步骤三、以作为精测尺；步骤四、以作为粗测尺；步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端，分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2，最后通过公式得到被测距离值；本发明解决了超长波长和超短波长的不能同步产生，激光测尺不可直接溯源和非线性周期误差和频率混叠的问题，具有测量效率高、精度高、稳定性和实时性强的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104037608A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410308366.5
申请日：2014-07-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于热电制冷和声光移频的单纵模激光器互锁方法和装置属于激光应用技术领域，本发明采用声光移频技术将多台基于热电制冷的单纵模激光器的输出激光频率锁定于同一台参考单纵模稳频激光器的输出激光频率上，从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值，目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足，为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。
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公开(公告)号：CN102679945B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201210180935.3
申请日：2012-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三点反射合作的卫星指向与姿态测量方法与装置属于测量测试领域中角度测量技术；该装置在待测小卫星上配置了三个角锥棱镜，此三个角锥棱镜在平面内构成法向量不随待测小卫星转动而发生改变的直角三角形，基准小卫星的激光器正对着三个角锥棱镜构成的直角三角形斜边中点位置，建立待测小卫星上处于直角边上的两个角锥棱镜间的距离与它们在基准小卫星上的投影距离的数学关系，该方法利用这种数学关系对待测小卫星相对基准小卫星的基线偏转角和空间姿态角进行测量；该装置和方法仅通过对待测小卫星相对基准小卫星的角度进行测量就可以间接获得待测小卫星相对于基准小卫星的指向和空间姿态，测量装置简单，测量结果准确。
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公开(公告)号：CN103604375A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310616950.2
申请日：2013-11-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 抗光学混叠的双频激光光栅干涉二维测量方法及系统属于光栅测量技术；该系统包括激光器、光栅干涉镜组、光电探测与信号处理单元，激光器同时输出的两束频率不同、空间分开的激光束平行入射到偏振分光镜，第一束经偏振分光镜反射后入射到参考光栅形成多个级次的多束参考衍射光束，第二束经偏振分光镜透射后入射到测量光栅形成多束测量衍射光束，参考衍射光束中的三束依次分别与测量衍射光束中的0和±1级光束对应汇合形成光学拍频，经光电探测与信号处理得到测量光栅的二维相对运动信息；该方法和系统消除了传统偏振分光不完全引起的光学频率混叠、偏振态混叠及相应的周期非线性误差，用于光刻机超精密工件台位置测量系统可提升其综合性能。
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公开(公告)号：CN102545024B
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201210021257.6
申请日：2012-01-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01S3/13
Abstract: 基于圆偏振光干涉的双纵模偏频锁定方法与装置属于激光应用技术领域，本发明分别在待稳频的双纵模激光器与参考激光器输出端加入λ/4波片，利用圆偏振光干涉代替传统的线偏振光干涉来获取待稳频的双纵模激光器与参考激光器输出光的频差；再经过稳频控制系统调节双纵模激光器腔长，使其输出的激光频率与基准光频率保持固定差值，从而实现稳频；该方法采用圆偏振光干涉，干涉均匀衬比度比线偏振光干涉衬比度好，同时，λ/4波片的透光率比偏振片高，能够减少混频前光能的损失，有利于提高光电探测器探测的光信号信噪比，提高稳频的精度。
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公开(公告)号：CN103528507A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310475601.3
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 回位补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；微动装置根据四个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值，对目标反射镜衍生位移进行实时回位补偿，使目标反射镜反射面上测量光束的入射位置不发生变化。
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