蒸镀掩模
    131.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207498456U

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201721538587.7

    申请日:2017-11-16

    Inventor: 池永知加雄

    CPC classification number: C23C14/04 C23C14/24 H01L51/50 H05B33/10

    Abstract: 本实用新型提供蒸镀掩模,在使蒸镀掩模紧密贴合于被蒸镀基板时,能够抑制在该蒸镀掩模上产生皱褶。蒸镀掩模(20)具备:构成面对被蒸镀基板的一侧的面的第1面(20a);和构成第1面(20a)的相反侧的面的第2面(20b),蒸镀掩模具有形成有多个贯通孔(25)的有效区域(22),具有长度方向(dL),并沿长度方向(dL)排列有1个以上的有效区域(22),且翘曲成至少在长度方向(dL)的中央部的与长度方向(dL)垂直的截面中凸向第1面(20a)侧。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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