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公开(公告)号：CN209708981U
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201920403675.9
申请日：2019-03-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L27/146 , H01L27/12
Abstract: 本实用新型公开了一种带防护层的X射线平板探测器，包括像素矩阵以及外围电路。像素矩阵由薄膜光电二极管和薄膜晶体管开关器件组成，其中薄膜晶体管开关器件上方设置有用于屏蔽X射线的防护层，防护层优选钨金属薄膜。本实用新型的有益效果：本实用新型将电子器件优化为带有防护层的器件，有效地降低了高能X射线对器件的影响，减少了器件的噪声干扰，并且提高了器件的使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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