形貌补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置

    公开(公告)号:CN103499278B

    公开(公告)日:2015-03-11

    申请号:CN201310475491.0

    申请日:2013-10-11

    Inventor: 胡鹏程 谭久彬

    Abstract: 形貌补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔,被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正四棱柱侧棱形式分布的四条平行标准测量光束中心位置处;在垂直于四条标准测量光束的平面内,由四条标准测量光束在该平面投影点构成的正方形区域中,四条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小,四条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值;目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中,保证线位移测量值的准确性。

    三光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置

    公开(公告)号:CN103528525B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201310475481.7

    申请日:2013-10-11

    Inventor: 胡鹏程 谭久彬

    Abstract: 三光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔,被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处;标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小,三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值;气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布,使三条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值;目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中,保证线位移测量值的准确性。

    基于四标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置

    公开(公告)号:CN103528500B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201310475436.1

    申请日:2013-10-11

    Inventor: 胡鹏程 谭久彬

    Abstract: 基于四标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔,被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正四棱柱侧棱形式分布的四条平行标准测量光束中心位置处;在垂直于四条标准测量光束的平面内,由四条标准测量光束在该平面投影点构成的正方形区域中,四条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小,四条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值。

    基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置

    公开(公告)号:CN103499277B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201310475482.1

    申请日:2013-10-11

    Inventor: 胡鹏程 谭久彬

    Abstract: 基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔,四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置;由四条标准测量光束在该平面投影点构成的四边形区域内,四条标准测量光束和四条被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小,标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近。

    可溯源超外差式精测尺混合激光器测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104133207A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201410263577.1

    申请日:2014-08-28

    CPC classification number: G01S11/12

    Abstract: 可溯源超外差式精测尺混合激光器测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和半导体激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差φ1和φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了相位激光测距技术中缺少一种能兼顾大功率、多测尺同步性与可溯源性的激光测距装置与方法的问题,具有测距灵活性高、测距步骤简单、测量效率高、稳定性和实时性强的特点。

    基于热稳频和声光移频的横向塞曼激光锁频方法和装置

    公开(公告)号:CN104037612A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410308387.7

    申请日:2014-07-01

    Abstract: 基于热稳频和声光移频的横向塞曼激光锁频方法和装置属于激光应用技术领域,本发明采用声光移频技术将多台基于热稳频的横向塞曼激光器的输出激光频率锁定于同一台参考横向塞曼稳频激光器的输出激光频率上,从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值,目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足,为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。

    基于高精度同步多测尺的半导体激光测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104035087A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410263610.0

    申请日:2014-06-14

    CPC classification number: G01S11/12

    Abstract: 基于高精度同步多测尺的半导体激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和半导体激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了相位激光测距技术中缺少一种能兼顾多测尺的同步性和可溯源性的装置与方法的问题,具有测距精度高、测量效率高、稳定性和实时性强的特点。

    同心共面二等分环-二等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置

    公开(公告)号:CN104034308A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410179253.X

    申请日:2014-04-28

    CPC classification number: G01C9/20 G01C2009/062 G01C2009/185

    Abstract: 同心共面二等分环-二等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置属于角度测量技术,其中传感器单元的环形共面电容测头由两个半圆形金属板和两个半圆环形金属板组成,四块金属板共面同心,两个半圆环形金属板沿周向均匀分布且与两个半圆形金属板一一对应、形成电容,将此环形共面电容测头安置于圆形绝缘基板上,圆形绝缘基板作为圆柱体容器底面,并将此圆柱体容器横置,在容器中密封注入体积1/2的绝缘性液体,电位引线将四块金属板的电位取出并与电容测量单元的输入端相连,电容测量单元与倾角计算单元连接;容器发生倾斜时,环形共面电容测头与绝缘性液体的相对位置发生变化,通过测量电容容值的变化,可求得倾角值。

    成对四等分环-圆嵌套极板相向交错放置式倾角测量方法与装置

    公开(公告)号:CN104019797A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201410179173.4

    申请日:2014-04-28

    CPC classification number: G01C9/20 G01C2009/062 G01C2009/185

    Abstract: 成对四等分环-圆嵌套极板相向交错放置式倾角测量方法与装置属于角度测量技术,其中传感器单元的环形共面电容测头由一个圆形金属板和四个四分之一圆环形金属板组成,五块金属板共面同心,四个四分之一圆环形金属板沿周向均匀分布,每一块与圆形金属板形成电容,将两个上述环形共面电容测头分别安置于两个圆形绝缘基板上,两个圆形绝缘基板作为圆柱体容器的两个底面,并将此圆柱体容器横置,在容器中密封注入体积1/2的绝缘性液体,电位引线将十块金属板的电位取出并与电容测量单元的输入端相连,电容测量单元与倾角计算单元连接;容器发生倾斜时,两个环形共面电容测头与绝缘性液体的相对位置发生变化,通过测量电容容值的变化,可求得倾角值。

    抗光学混叠的双频激光光栅干涉三维测量方法及系统

    公开(公告)号:CN103604376A

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201310616973.3

    申请日:2013-11-19

    Abstract: 抗光学混叠的双频激光光栅干涉三维测量方法及系统属于光栅测量技术;该系统包括激光器、光栅干涉镜组、光电探测与信号处理单元,激光器同时输出的两束频率不同、空间分开的激光平行入射到偏振分光镜,第一束经偏振分光镜反射后入射到参考光栅形成多个级次的多束参考衍射光束,第二束经偏振分光镜透射后入射到测量光栅形成多束测量衍射光束,参考衍射光束中的五束依次分别和测量衍射光束中的(0,0)级、(0,±1)级、(±1,0)级光束对应汇合形成光学拍频,经光电探测与信号处理得到测量光栅的三维相对运动信息;该方法和系统消除了传统偏振分光不完全引起的光学频率混叠、偏振态混叠及相应的周期非线性误差。

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