公开(公告)号：CN201716456U

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN201020218146.0

申请日：2010-05-28

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 吴坚 ,  刘宁 ,  陈涛 ,  刘世炳

IPC: G02B7/00 ,  B23K26/08

Abstract: 一种准分子激光微加工系统的光路调节架，用于MEMS加工，属于微纳米科学与技术领域。本实用新型由钢架、固定在钢架上的悬挂平台(11)、安装在悬挂平台(11)上的平移调整台(13)，安装在平移调整台(13)上的转动调整台(14)，安装在转动调整台(14)上的物镜(16)组成。通过调节钢架的高度来调节物镜(16)垂直方向的位置；通过调节平移调整台(13)来调节物镜(16)在水平方向的位置，通过调节转动调整台(14)来调节物镜(16)的转动角度，实现竖直方向准分子激光光路的调整。并且设有竖直方向胀紧器(15)对调整好位置的平移调整台(13)进行固定。本实用新型结构稳定，操作简便，易于实现工业级准分子激光微加工。

公开(公告)号：CN201576885U

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN201020046866.3

申请日：2010-01-15

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 吴坚 ,  刘宁 ,  陈涛 ,  刘世炳

IPC: H01S3/22 ,  H01S3/10 ,  G02B7/00

Abstract: 一种准分子激光微加工系统的光路系统工作支撑架，用于MEMS加工，属于微纳米科学与技术领域。本实用新型由上层槽钢(1)、中层槽钢(2)、底层槽钢(3)通过长螺栓连接紧固在一起。通过调节螺母(5)在长螺栓(4)上的位置来调节上层槽钢(1)的高度。底层槽钢(3)上有方形口(8)，将压铁(9)两端支撑在方形口(8)两对边上，用螺钉(10)穿过压铁(9)拧入光学平台上的螺纹孔中，可以实现光路支撑结构与光学平台的紧固连接。上层槽钢(1)上放置带大理石衬垫的光具导轨(7)。光具导轨(7)上放置光学元件。光束由导轨(7)上放置光学元件经反射向下至被加工物件上。本实用新型结构稳定，可调节，易于实现准分子激光微加工。