通过掺杂V改善TiN薄膜导电性能的方法

    公开(公告)号:CN100532303C

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN200610050717.2

    申请日:2006-05-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开一种通过掺杂V改善TiN薄膜导电性能的方法。方法步骤如下:1)用10%的氢氟酸清洗玻璃基板;2)将玻璃基板放入反应室中,反应室抽真空,并通入N2对反应室进行清洗;3)将反应室加热至450-700℃;4)将TiCl4、VCl4、NH3和N2反应气体通入反应室,其中TiCl4的流量为100-250sccm、VCl4的流量为50-200sccm,NH3的流量为150sccm,N2的流量为900sccm,反应室的压强为-0.02MPa,在450-700℃的温度条件下进行沉积,反应时间为60~150s,反应完毕后,停止通入气体,冷却即可。本发明制备得到的薄膜中,由于V的掺入改变了TiN薄膜的能带结构,进而改善了TiN薄膜的导电性能。且本发明使用的设备和方法较为简单,制备得到的薄膜均匀性良好,具有阳光控制功能。

    一种耐腐蚀硅化钛镀膜玻璃及其制备方法

    公开(公告)号:CN101475318A

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200910095672.4

    申请日:2009-01-19

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种耐腐蚀硅化钛(Ti5Si3)镀膜玻璃及其制备方法。以硅烷和四氯化钛为反应前驱体,以氮气为稀释气体和保护气体,通过反应前驱体在650~740℃下在玻璃表面沉积得到Ti5Si3镀膜玻璃。所制备的该Ti5Si3镀膜玻璃厚度在200~300nm之间,红外反射率在85~93%之间,可见光区透过率在30~20%之间,是一种兼具调光隔热以及低辐射功能的耐腐蚀硅化钛镀膜玻璃。与已有的TiSi2镀膜玻璃相比,该硅化钛(Ti5Si3)镀膜玻璃的耐腐蚀性好,具有更加广阔的应用前景。该镀膜玻璃的制备也可在浮法玻璃生产线的锡槽或过渡辊合或退火窑前端进行,可与浮法在线玻璃生产工艺相结合,节约能源。

    六方圆盘状α-Fe2O3纳米粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN101293675A

    公开(公告)日:2008-10-29

    申请号:CN200810062488.5

    申请日:2008-06-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明涉及六方圆盘状α-Fe2O3纳米粉体的制备方法,采用的是水/溶剂热合成法,将原始反应物料硝酸铁和矿化剂氢氧化钾分别溶于乙二醇和水构成的混合溶剂中,然后将氢氧化钾溶液滴加到硝酸铁的溶液中,获得用于水/溶剂热反应的悬浮液前驱体,将其密闭于反应釜中,于160~240℃下热处理4~36小时,得到六方圆盘状的α-Fe2O3纳米粉体,其厚度不大于150纳米,盘径不小于250纳米。本发明产品质量稳定,纯度高,颗粒分散性好,具有优良的催化性能;制备工艺过程简单,易于控制,无污染,成本低,易于规模化生产。

    兼具隔热和保温功能的TiNx镀膜玻璃及其制备方法

    公开(公告)号:CN101289283A

    公开(公告)日:2008-10-22

    申请号:CN200810062189.1

    申请日:2008-06-13

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种兼具隔热和保温功能的TiNx镀膜玻璃及其制备方法,玻璃基片上的TiNx薄膜含有原子摩尔百分含量为:钛元素44%~59%,氮元素41%~56%。采用化学气相沉积法在清洁的玻璃基片表面沉积TiNx薄膜。制备工艺简单,生产成本低,生产效率高。本方法制备的TiNx薄膜致密均匀、与玻璃基片结合良好,在近红外区和中远红外区均有高反射率,表现出优异的节能性能,兼具阳光控制功能和低辐射性能。同时保证可见光的透过率,可广泛应用于各种建筑物、车辆等各种需要隔热保温的设施;既可以应用在冬季寒冷的高纬度地区,又可以应用在夏季炎热的低纬度地区。

    一种渗流型Ag-PbTiO3复合陶瓷薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN100422110C

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200710068236.9

    申请日:2007-04-26

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开的渗流型Ag-PbTiO3复合陶瓷薄膜按体积百分比含有75%~99.5%的PbTiO3和0.5%~25%的Ag。采用将钛酸四丁酯配成Ti溶胶,将硝酸铅溶解到以乳酸、柠檬酸为络合剂,乙二醇甲醚为溶剂的混合溶液中,形成含Pb溶胶,然后将两溶胶混合并将硝酸银溶入制备得到溶胶前驱体;利用浸渍提拉法首先在基板上涂覆,再经过还原气氛热处理得到Ag-PbTiO3复合薄膜。本发明制备工艺简单,便于工业化生产。该复合薄膜的基体电介质相为钙钛矿相钛酸铅,薄膜的金属导电相为银,成功控制了薄膜中金属颗粒的尺寸,在薄膜中形成了纳米量级、分布均匀的金属银颗粒;薄膜具有明显的渗流效应,介电常数可以达到纯钛酸铅薄膜的3~5倍。

    一种铁掺杂的钛酸铋钠多铁性材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN101219813A

    公开(公告)日:2008-07-16

    申请号:CN200810059491.1

    申请日:2008-01-24

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开的铁掺杂的钛酸铋钠多铁性材料,其化学式为Na0.5Bi0.5FexTi1-xO3,0<x≤0.8。制备方法包括制备铁、铋和钛的羟基氧化物沉淀作为反应物料,加入适宜浓度的氢氧化钠促进晶化,于160-200℃下,水热反应得到掺铁钛酸铋钠多铁性材料。本发明制得的铁掺杂钛酸铋钠多铁材料同时具有铁电性和铁磁性,且工艺过程简单,无污染,成本低,易于规模化生产。铁掺杂的钛酸铋钠多铁性材料具有良好的铁电性和较强的铁磁性,在信息存储、卫星通讯、微波领域、精密控制、自旋电子器件、高压输电线路的电路测量、磁电传感器及电容-电感一体化器件方面等领域有着广泛的应用前景,在基础物理研究的方面也具有极其重要的意义。

    一种纳米钛酸钡的制备方法

    公开(公告)号:CN101100310A

    公开(公告)日:2008-01-09

    申请号:CN200710069736.4

    申请日:2007-06-27

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开的纳米钛酸钡的制备方法,包括制备钛的羟基氧化物沉淀和乙酸钡的去离子水溶液作为反应物料,以乙二胺或乙醇胺或乙二胺和乙醇胺的混合溶液作为溶剂,加入适宜浓度的氢氧化钾促进晶化,于100~200℃下,水热反应得到单分散的纳米钛酸钡粉体。本发明工艺过程简单,易于控制,无污染,成本低,易于规模化生产。制得的产品纯度高、结晶性好、分散性好、粒度分布窄,且粒度大小可以通过改变工艺参数调节。该产品在微电子器件、电光器件、存储材料、高介材料、气敏材料等领域具有广阔的应用前景。

    一种取向生长的介电常数可调钛酸锶铅薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN101070617A

    公开(公告)日:2007-11-14

    申请号:CN200710067534.6

    申请日:2007-03-07

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种取向生长的介电常数可调钛酸锶铅薄膜的制备方法,首先在涂覆在玻璃基板上的ITO底电极上拉制铽掺杂PT取向诱导层;再在铽掺杂PT取向诱导层上沉积PST薄膜;铽掺杂PT取向诱导层具有(100)择优取向,PST薄膜同样具有(100)择优取向。本发明通过在无规取向基板上制备PT取向诱导层,诱导制备出高度择优取向的PST薄膜,避免常规取向薄膜制备对于昂贵的单晶基板的依赖性;同时本发明得到的PST薄膜能保持相对较高的可调性,为制备高性能的取向PST薄膜提供了新方法;PT取向诱导层既能诱导PST薄膜的取向,又能促进PST的晶化;整套工艺简单,制备温度低,周期短,节约了能源和成本,具有良好的市场前景。

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