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公开(公告)号：CN105487345A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610023029.0
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于电制冷片的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用干涉仪对工件台位置进行测量，采用平面片簧和电磁阻尼器组成的被动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用具有电制冷片结构的动磁钢式磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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公开(公告)号：CN102520587A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110378102.3
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个线缆盒防转装置；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，线缆盒防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案冲击转矩大、换台节拍多、现有旋转换台方案双工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。
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公开(公告)号：CN101936776A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010239288.X
申请日：2010-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种宽频段微波/红外信号分束探测方法和装置属于微波/红外双模信号分束探测和半实物仿真技术领域，利用金属网栅分束器反射微波信号并透射红外信号，实现将微波和红外双模耦合信号分束，反射的微波信号进入微波接收器进行探测，同时透射的红外信号进入红外探测器进行探测，从而实现了微波和红外双模耦合信号的分束探测，其装置包括金属网栅分束器、红外探测器、微波接收器，金属网栅分束器由红外基底、金属铬或金属钛粘结层和金属网栅薄膜构成，金属网栅薄膜在垂直极化方向的周期大于平行极化方向的周期，且垂直极化方向和平行极化方向的周期均小于微波最小波长的二分之一；本发明可应用于宽频段微波/红外双模信号探测和半实物仿真技术领域。
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公开(公告)号：CN101917837A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010239355.8
申请日：2010-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05K9/00
Abstract: 一种具有经纬形网栅结构的电磁屏蔽共形光学窗属于光学透明件的电磁屏蔽技术领域，包括共形光学窗壳体，①在共形光学窗壳体内侧面上制作经纬形金属网栅，该经纬形金属网栅将共形光学窗壳体内侧表面整体覆盖，或者②在共形光学窗壳体内表面上从外至内依次制作经纬形金属网栅和共形光学窗内壳体，且经纬形金属网栅将共形光学窗壳体的内表面和共形光学窗内壳体的外表面整体覆盖；经纬形金属网栅由金属经线和金属纬线组成，金属经线沿圆周方向以等圆心角均匀排列，金属纬线沿母线方向以金属网栅周期等间距排列，且金属经线和金属纬线互相电气连接；本发明适用于遥测遥感、医疗诊断、保密通讯、航空航天装备等军用和民用共形光学窗的电磁屏蔽技术。
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公开(公告)号：CN119197378A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411418574.0
申请日：2024-10-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明的基于条纹平板的线激光阵列标定方法，包括如下步骤：步骤1、对端齿转子表面进行三维形貌测量；步骤2、线激光传感器测量坐标系间位姿变换线性求解；步骤3、对线激光传感器测量坐标系间位姿变换非线性优化，实现对线激光传感器测量坐标系间位姿关系标定。本发明针对航空发动机端齿结构设计了一种多线激光扫描测量系统，并针对标准球标定存在的精度低，成本高等问题提出使用基于条纹标定板的多线激光测量系统标定模型，标定后实现测量误差不超过2.4微米。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118999352A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411084860.8
申请日：2024-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于增强动态成像模型的航空发动机测量远心线阵相机标定方法，属于精密测量与仪器技术领域；该方法包括以下步骤：将透明玻璃棋盘格标定板(3)调整至不同位姿处，并采集图像；确定透明玻璃棋盘格标定板(3)的角点在像素坐标系中的投影点坐标和在世界坐标系中的坐标；结合忽略导轨(5)倾斜和远心镜头(7)畸变的远心线阵相机增强动态成像模型，基于直接线性变换进行远心线阵相机初始参数估计；基于考虑导轨(5)倾斜时的远心线阵相机增强动态成像模型和镜头畸变模型，采用非线性优化算法进行参数优化，获得最优的标定结果；本发明解决了直接从相机和镜头手册中获得的非线性优化初始值不准确的问题，提高了远心线阵相机标定准确性。
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公开(公告)号：CN115034309B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202210669665.6
申请日：2022-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F18/2411 , G01B21/24 , G06N20/10 , G06F18/214 , G06F18/2135
Abstract: 基于支持向量机截面形状分类的回转装备同轴度测量方法，它涉及一种回转装备同轴度测量方法。本发明为了解决大型高速回转装备在同轴度误差测量时未考虑截面的实际几何形状是否为圆形，容易造成圆心坐标误差增加，进而影响大型高速回转装备同轴度测量精度的问题。本发明的具体步骤为：利用传感器采集大型高速回转装备截面形貌数据；将n组大型高速回转装备截面形貌数据样本随机分为训练集和测试集；剔除训练集的标签值组成无标签的训练集；剔除训练集的标签值组成无标签的训练集；利用设计好的回转体截面形状SVM分类器进行截面分类，根据截面分类结果进行圆心和回转体同轴度测量基准轴线的确定。本发明属于回转体截面形状分类和同轴度测量领域。
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公开(公告)号：CN118392071A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410504886.7
申请日：2024-04-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种基于三坐标导轨的航空发动机叶片测量标定方法，包括如下步骤：步骤S1、进行光谱共焦探头标定，先转化坐标系，然后初始位姿求解，通过球面测量点的分析，对非线性方程组求解，得到光谱共焦传感器探头出光方；步骤S2、进行精密转台标定，通过球面拟合和空间圆拟合，得到精密转台旋转轴方向和圆心坐标。本发明的光谱共焦叶片测量是一种非接触测量方法，有利于测量小凹陷和大曲率的微表面，从而具有较高的测量完整性。此外，本发明利用光谱共焦传感器的大测量范围和高采样频率，实现了高测量效率。
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公开(公告)号：CN118328902A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410524509.X
申请日：2024-04-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种航空发动机叶片三维测量多层同心圆环标定板、标定方法及系统，多层同心圆环标定板由n*m个多层同心圆环组阵列组成，n为行数，m为列数，m、n为自然数，100≤n*m≤400，同心圆环组的层数为自然数p，2≤p≤8，标定板背景与同心圆环颜色为对比色，标定方法包括：椭圆检测；圆心逼近；圆心仿射变换排序。相较于棋盘格角点，多层同心圆环标定具有抗噪声干扰的优势；通过圆心逼近算法，既能实现高精度的误差消除，也能实现高效率的检测流程，大幅降低了算法复杂度；多层同心圆环标定方法的亚像素精度更高，在实际应用中更为灵活和鲁棒，并且可以适应不同的光照条件和摄像机特性。
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公开(公告)号：CN118246152A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410505138.0
申请日：2024-04-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/15 , G06F30/17 , G06F30/20 , G06F18/2135
Abstract: 本发明涉及一种基于ransac直线分割拟合的航空发动机叶片榫头参数计算方法，包括如下步骤：步骤S1、基于PCA算法进行榫头截面数据提取；步骤S2、对榫头截面数据进行排序降噪；步骤S3、对榫头进行参数评定，得到角度参数与距离参数数据。本发明针对目前叶片榫槽测量尚不存在点云扫描测量评定方法，采用叶片扫描点云的方法，提出了基于移动最小二乘法排序降噪以及ransac直线拟合的叶片榫槽特征提取与拟合方法，有效的通过扫描点云提取了叶片的榫头特征。
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