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公开(公告)号：CN101688840A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880013366.5
申请日：2008-02-25
Applicant: ESE嵌入式系统工程有限责任公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/645 , G01N21/255 , G01N21/8483 , G01N2201/0228 , G01N2201/024
Abstract: 本发明提供光学测量仪器和测量设备。所述光学测量仪器用于检查包含在样本中的标本，包括：至少一个源，用于提供至少一束电磁波束，该电磁波束旨在照射所述样本并与所述样本中的所述标本相互作用；至少一个传感器，用于检测所述标本和所述电磁波束之间相互作用的输出；整体形成的用于所述光学和电子部件的机械平台；用于所述样本的样本保持器，其中，所述至少一个源，所述至少一个传感器以及所述机械平台集成在一个单片光电模块中，并且所述样本保持器可以连接到所述模块。
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