物体表面形貌检测方法、物体表面形貌检测系统及装置

    公开(公告)号:CN118687506A

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202410829815.4

    申请日:2024-06-25

    Abstract: 本申请实施例涉及一种物体表面形貌检测方法、物体表面形貌检测系统及装置,该系统包括:相机模组、图像处理装置、光源装置、半反半透镜、光学透光板、旋转载物台;旋转载物台上放置有被测物体,光源装置的光线出射方向与旋转载物台的载物面平行;光学透光板相对于旋转载物台的表面成设定的倾斜角度,形成用于产生光的干涉现象的楔形劈尖;相机模组用于在旋转载物台的转动期间,拍摄得到至少两个干涉条纹图像;图像处理装置用于基于至少两个干涉条纹图像,生成被测物体表面的形貌图。本申请实施例可以有效降低因环境、系统及装配引起的测量误差,得到高精度的被测物体表面形貌,且可以获得较大面积的形貌图,满足各种被测物体的测量需求。

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