公开(公告)号：CN103439530B

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201310375287.1

申请日：2013-08-26

Applicant: 重庆邮电大学

Inventor： 刘宇 ,  刘聪 ,  刘期烈 ,  刘申 ,  方针 ,  吴英 ,  何晓艳 ,  陈燕苹 ,  王伊冰 ,  王乐 ,  江宏毅 ,  刘松

IPC: G01P15/093

Abstract: 本发明公开一种新型多轴光学加速度计，包括支撑结构、弹性梁、测试质量块、可动光子晶体梁、固定光子晶体梁、连接光纤、可变光衰减器、光纤偏振控制器、平衡光探测器、电子频谱分析仪；测试质量块分别可以在X、Y轴实现加速度信号的探测。其中X、Y轴方向的加速度探测由相应的支撑结构承接的测试质量块仅针对该平面进行加速度的双向探测。测试质量块的相应探测边缘由微加工工艺制作的氮化硅光子晶体梁构成腔形结构，将加速度产生的晶体梁相对位移变化转化为探测光信号的改变。不同方向的光子晶体腔对该方向的加速度信号探测没有影响。本发明通过检测模块将探测光信号的变化转化为测量载体的加速度，具有测量精度高、抗电磁干扰等特点。

公开(公告)号：CN103439530A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201310375287.1

申请日：2013-08-26

Applicant: 重庆邮电大学

Inventor： 刘宇 ,  刘聪 ,  刘期烈 ,  刘申 ,  方针 ,  吴英 ,  何晓艳 ,  陈燕苹 ,  王伊冰 ,  王乐 ,  江宏毅 ,  刘松

IPC: G01P15/093

Abstract: 本发明公开一种新型多轴光学加速度计，包括支撑结构、弹性梁、测试质量块、可动光子晶体梁、固定光子晶体梁、连接光纤、可变光衰减器、光纤偏振控制器、平衡光探测器、电子频谱分析仪；测试质量块分别可以在X、Y轴实现加速度信号的探测。其中X、Y轴方向的加速度探测由相应的支撑结构承接的测试质量块仅针对该平面进行加速度的双向探测。测试质量块的相应探测边缘由微加工工艺制作的氮化硅光子晶体梁构成腔形结构，将加速度产生的晶体梁相对位移变化转化为探测光信号的改变。不同方向的光子晶体腔对该方向的加速度信号探测没有影响。本发明通过检测模块将探测光信号的变化转化为测量载体的加速度，具有测量精度高、抗电磁干扰等特点。