振动传感器和背电极式振动传感器

    公开(公告)号:CN113532625A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202110863691.8

    申请日:2021-07-29

    Applicant: 重庆大学

    Inventor: 杨进 林志伟

    Abstract: 本发明提出了一种振动传感器和背电极式振动传感器,其中,振动传感器由上绝缘层、下绝缘层、环形垫层、上导电层、下导电层和微粒状的振动体组成;背电极式振动传感器由上表层、下表层、环形垫层、上电极层、下电极层、上内绝缘层、下内绝缘层和微粒状的振动体组成;本发明的有益技术效果是:提出了一种振动传感器和背电极式振动传感器,该方案给出了一种全新的振动传感方式,传感器结构简单,易于制造,并且传感器能够自供能,再有,测试表明,传感器的振动频率响应范围可达3‑170kHz,具有宽频响应能力,能够满足诸多实际应用的需求。

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