集成于PCB上的压电致动流体泵

    公开(公告)号:CN110805547A

    公开(公告)日:2020-02-18

    申请号:CN201911107995.0

    申请日:2019-11-13

    Applicant: 重庆大学

    Abstract: 本发明公开一种集成于PCB上的压电致动流体泵,包括PCB基板、泵作用单元和至少两个压电致动流体阀,泵作用单元分别通过流道与每个压电致动流体阀连接。其中泵作用单元由PCB工艺加工的泵腔壁和覆盖并固定在泵腔壁上的压电单晶执行器构成。压电致动流体阀由PCB工艺加工的阀腔壁、阀口部和覆盖并固定在阀腔壁上的压电单晶执行器构成。通过驱动泵作用单元和压电致动流体阀的压电单晶执行器,使它们有序动作实现流体流量、流速和流向的精确控制功能。本流体泵适宜于集成于PCB上,具有精密操控流体流量、流速和流向的功能,且能够实现与其它微小流控部件集成,从而为复杂的微小流控系统提供流体驱动动力源的功能。

    集成于PCB上的压电致动流体泵

    公开(公告)号:CN110805547B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN201911107995.0

    申请日:2019-11-13

    Applicant: 重庆大学

    Abstract: 本发明公开一种集成于PCB上的压电致动流体泵,包括PCB基板、泵作用单元和至少两个压电致动流体阀,泵作用单元分别通过流道与每个压电致动流体阀连接。其中泵作用单元由PCB工艺加工的泵腔壁和覆盖并固定在泵腔壁上的压电单晶执行器构成。压电致动流体阀由PCB工艺加工的阀腔壁、阀口部和覆盖并固定在阀腔壁上的压电单晶执行器构成。通过驱动泵作用单元和压电致动流体阀的压电单晶执行器,使它们有序动作实现流体流量、流速和流向的精确控制功能。本流体泵适宜于集成于PCB上,具有精密操控流体流量、流速和流向的功能,且能够实现与其它微小流控部件集成,从而为复杂的微小流控系统提供流体驱动动力源的功能。

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