一种多晶硅氢化炉
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102485649B

    公开(公告)日:2014-03-05

    申请号:CN201010575689.2

    申请日:2010-12-06

    Abstract: 本发明提供了一种多晶硅氢化炉,包括炉体(35)、视镜(7)、底盘(36)、底座(15)、电极(16)、发热体(18)、总进水口(33)、容器法兰(12)、出水口(1)、密封垫(31)螺栓(32)、内筒隔热屏(11)、进出气套管(5)、底部进出管(34)和安全阀接口(2)等部件,还包括单层隔热装置(11)、进出气套管(5)、底部进出管(34)和安全阀接口(2);通过本发明能使多晶硅得生产实现封闭化,进一步提高了多晶硅的产量,并达到了节约成本、节约能源、降低能耗和环保的目的。

    一种多晶硅氢化炉
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102485649A

    公开(公告)日:2012-06-06

    申请号:CN201010575689.2

    申请日:2010-12-06

    Abstract: 本发明提供了一种多晶硅氢化炉,包括炉体(35)、视镜(7)、底盘(36)、底座(15)、电极(16)、发热体(18)、总进水口(33)、容器法兰(12)、出水口(1)、密封垫(31)螺栓(32)、内筒隔热屏(11)、进出气套管(5)、底部进出管(34)和安全阀接口(2)等部件,还包括单层隔热装置(11)、进出气套管(5)、底部进出管(34)和安全阀接口(2);通过本发明能使多晶硅得生产实现封闭化,进一步提高了多晶硅的产量,并达到了节约成本、节约能源、降低能耗和环保的目的。

    一种36对棒多晶硅还原炉底盘

    公开(公告)号:CN203229386U

    公开(公告)日:2013-10-09

    申请号:CN201220719729.0

    申请日:2012-12-24

    Abstract: 本新型属于还原炉底盘,具体涉及一种36对棒多晶硅还原炉底盘。它包括圆形的底盘主体,在底盘主体中心位置设置由两个等边三角形反相布置形成的正六角形,在该正六角形6个顶点和6个交点上均设置电极,共设置12个电极,设置12个正六边形,该12个正六边形以前述的正六角形为中心,均匀布置,且该12个正六边形以共用相邻临边—共用相邻顶点的规则布置,即第一个正六边形与第二的正六边形共用一个相邻的边,第二个正六边形与第三的正六边形共用相邻的顶点,第三个正六边形与第四的正六边形共用一个相邻的边,第四个正六边形与第五的正六边形共用相邻的顶点。本新型的效果是:利用本申请的还原炉底盘可以提高产量,降低消耗。

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