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公开(公告)号:CN106229012B
公开(公告)日:2019-01-29
申请号:CN201610811945.0
申请日:2016-09-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 一种大位移高频响三自由度压电驱动精密定位平台,包括刚性基底,刚性基底的两侧和菱形位移放大机构的一个第一刚性输出端连接,菱形位移放大机构的另一个第一刚性输出端和桥形位移放大机构的一个第二刚性输入端连接,菱形位移放大机构的两个第一刚性输入端上连接有压电陶瓷,菱形位移放大机构由柔性臂、两个第一刚性输入端和两个第一刚性输出端连接构成基于三角原理的柔性机构,桥形位移放大机构是由两个柔性梁、两个第二刚性输入端和一个第二刚性输出端组成的“拱桥”形柔性机构,其中两个对称的柔性梁构成桥形位移放大机构的斜边,本发明可以实现大行程和高带宽的高精度位移输出,结构简单和紧凑。
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公开(公告)号:CN106299103B
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201610811944.6
申请日:2016-09-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L41/09
Abstract: 一种同时具有高固有频率和位移放大比的菱形柔性机构,包括由四条斜边柔性梁、刚性输入端、驱动元件、固定面和位移输出端连接成的菱形柔性机构,四条斜边柔性梁在厚度方向上均采用两层以上的柔性梁的叠层结构,柔性梁叠层间存在间隙,另外菱形柔性机构的长对角线方向上设有受力面并与驱动元件刚性连接,菱形柔性机构短对角线方向上一端设有固定面,另一端设有位移输出端,固定面和位移输出端相互平行,并与长对角线方向平行,与短对角线方向垂直,本发明在位移放大比基本不变的情况下明显提高菱形柔性机构在输出位移方向上的刚度和固有频率,改善菱形位移放大机构的动态性能。
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公开(公告)号:CN106224713A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201610811759.7
申请日:2016-09-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: F16M11/04
CPC classification number: F16M11/043
Abstract: 一种基于桥形柔性机构的五自由度精密定位平台,包括整体呈十字形的刚性基底,刚性基底的四个侧壁分别和菱形位移放大机构的一个刚性输出端连接,菱形位移放大机构的另一个刚性输出端和十字形的桥形位移放大机构的输入端连接,菱形位移放大机构的内部输入端之间连接有堆叠型压电陶瓷,桥形位移放大机构的四个输入端分别与两个上下并列的菱形位移放大机构单元的输出端通过螺栓刚性连接,本发明采用两级位移放大以及不同的驱动组合来实现五个自由度运动,结构简单和紧凑。
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公开(公告)号:CN106847346A
公开(公告)日:2017-06-13
申请号:CN201710207293.4
申请日:2017-03-31
Applicant: 西安交通大学
IPC: G12B5/00
CPC classification number: G12B5/00
Abstract: XYθ三自由度大行程高频响精密定位平台,包括刚性基底,刚性基底内侧分别和四个双层菱形位移放大机构的外侧固定端连接,四个双层菱形位移放大机构的内侧第一刚性输出端与柔性支链机构连接,柔性支链机构的第二刚性输出端与动平台连接,动平台中心通过螺纹孔刚性连接被驱动对象,动平台、柔性支链机构、双层菱形位移放大机构关于螺纹孔旋转对称;菱形位移放大机构的内侧第一刚性输出端通过矩形梁与刚性基底连接,菱形位移放大机构两侧第一刚性输入端与压电陶瓷连接;整个机构由一块钢板经电火花加工工艺一体化加工而成,机构内部空腔加工通透,空腔内部构件处于悬空状态,本发明可以实现大行程和高带宽的高精度位移输出,结构简单和紧凑。
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公开(公告)号:CN106299103A
公开(公告)日:2017-01-04
申请号:CN201610811944.6
申请日:2016-09-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L41/09
CPC classification number: H01L41/0913
Abstract: 一种同时具有高固有频率和位移放大比的菱形柔性机构,包括由四条斜边柔性梁、刚性输入端、驱动元件、固定面和位移输出端连接成的菱形柔性机构,四条斜边柔性梁在厚度方向上均采用两层以上的柔性梁的叠层结构,柔性梁叠层间存在间隙,另外菱形柔性机构的长对角线方向上设有受力面并与驱动元件刚性连接,菱形柔性机构短对角线方向上一端设有固定面,另一端设有位移输出端,固定面和位移输出端相互平行,并与长对角线方向平行,与短对角线方向垂直,本发明在位移放大比基本不变的情况下明显提高菱形柔性机构在输出位移方向上的刚度和固有频率,改善菱形位移放大机构的动态性能。
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公开(公告)号:CN106229012A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201610811945.0
申请日:2016-09-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G12B5/00
CPC classification number: G12B5/00
Abstract: 一种大位移高频响三自由度压电驱动精密定位平台,包括刚性基底,刚性基底的两侧和菱形位移放大机构的一个第一刚性输出端连接,菱形位移放大机构的另一个第一刚性输出端和桥形位移放大机构的一个第二刚性输入端连接,菱形位移放大机构的两个第一刚性输入端上连接有压电陶瓷,菱形位移放大机构由柔性臂、两个第一刚性输入端和两个第一刚性输出端连接构成基于三角原理的柔性机构,桥形位移放大机构是由两个柔性梁、两个第二刚性输入端和一个第二刚性输出端组成的“拱桥”形柔性机构,其中两个对称的柔性梁构成桥形位移放大机构的斜边,本发明可以实现大行程和高带宽的高精度位移输出,结构简单和紧凑。
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公开(公告)号:CN106224713B
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201610811759.7
申请日:2016-09-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: F16M11/04
Abstract: 一种基于桥形柔性机构的五自由度精密定位平台,包括整体呈十字形的刚性基底,刚性基底的四个侧壁分别和菱形位移放大机构的一个刚性输出端连接,菱形位移放大机构的另一个刚性输出端和十字形的桥形位移放大机构的输入端连接,菱形位移放大机构的内部输入端之间连接有堆叠型压电陶瓷,桥形位移放大机构的四个输入端分别与两个上下并列的菱形位移放大机构单元的输出端通过螺栓刚性连接,本发明采用两级位移放大以及不同的驱动组合来实现五个自由度运动,结构简单和紧凑。
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