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公开(公告)号：CN106994825A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201610853078.7
申请日：2016-09-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/042 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/0459 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , B41J2/045 , B41J2/04501
Abstract: 本发明涉及压电设备以及压电设备的驱动方法。提供一种压电设备，具有：压电元件，该压电元件具备第一电极、第二电极、以及设置于第一电极与第二电极间的压电体层；和驱动系统，该驱动系统通过对第一电极和第二电极施加电压来驱动压电元件，上述驱动系统以在比压电元件开始产生隧穿电流或者蒲尔弗朗克电流的电压低的最大电压来驱动压电元件。
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公开(公告)号：CN100503058C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610066947.8
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够较容易地控制结晶状态并可始终获得稳定特性的电介质膜的制造方法，以及可提高压电元件特性的压电元件的制造方法。该方法包括：涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜的涂布工序，金属有机化合物含有构成电介质膜的金属，电介质膜至少含有铅成分；对介电前驱体膜进行干燥的干燥工序；对介电前驱体膜进行脱脂的脱脂工序；煅烧介电前驱体膜以形成电介质膜的煅烧工序；干燥工序具有：将介电前驱体膜加热到低于材料主溶媒的溶剂沸点的温度并保持一定时间以使其干燥的第一干燥工序；在140℃～170℃的范围内干燥介电前驱体膜的第二干燥工序；脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，使升温率为15[℃/sec]以上，煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。
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公开(公告)号：CN1840244A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610066947.8
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够较容易地控制结晶状态并可始终获得稳定特性的电介质膜的制造方法，以及可提高压电元件特性的压电元件的制造方法。该方法包括：涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜的涂布工序，金属有机化合物含有构成电介质膜的金属，电介质膜至少含有铅成分；对介电前驱体膜进行干燥的干燥工序；对介电前驱体膜进行脱脂的脱脂工序；煅烧介电前驱体膜以形成电介质膜的煅烧工序；干燥工序具有：将介电前驱体膜加热到低于材料主溶媒的溶剂沸点的温度并保持一定时间以使其干燥的第一干燥工序；在140℃～170℃的范围内干燥介电前驱体膜的第二干燥工序；脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，使升温率为15[℃/sec]以上，煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。
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公开(公告)号：CN106994825B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201610853078.7
申请日：2016-09-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/042 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/0459 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明涉及压电设备以及压电设备的驱动方法。提供一种压电设备，具有：压电元件，该压电元件具备第一电极、第二电极、以及设置于第一电极与第二电极间的压电体层；和驱动系统，该驱动系统通过对第一电极和第二电极施加电压来驱动压电元件，上述驱动系统以在比压电元件开始产生隧穿电流或者蒲尔弗朗克电流的电压低的最大电压来驱动压电元件。
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