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公开(公告)号：CN100540154C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200510073567.2
申请日：2005-06-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供一种超声波转换器及其制造方法，可以使通过在固定电极(下电极)的表面上设置凹凸而提高了频率特性的宽频带化及电气信号和声波信号的转换效率的静电型超声波转换器，进一步提高输出声压能级，并且能够容易地对必要的固定电极(下电极)实施细微加工处理。该超声波转换器具有在绝缘体上形成有电极层的振动膜，和在与该振动膜相对的面上形成有多个凹凸部的固定电极，通过向形成于所述振动膜的电极层与所述固定电极之间施加交流信号，而产生超声波，并且在所述固定电极的凹凸部的凸部上面形成有槽部。
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公开(公告)号：CN1820951A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610006489.9
申请日：2006-02-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 手塚睦人
CPC classification number: B41J2/165
Abstract: 本发明提供可以在尽可能地将液滴喷出装置的尺寸控制得较小的同时配置维护装置，并且可以确保必需的液滴喷出位置精度的液滴喷出装置及液滴喷头的维护方法。维护单元(61、62)被配置于吸附台(19)的下方位置(待机位置)。在维护动作时，吸附台(19)向不与维护单元(61、62)干涉的位置退避，维护单元(61、62)的一方上升驱动，维护装置(44、47)或(45、46)被配置于维护位置。与其大致同步，承载架(18)移动，液滴喷头(15)被配置于与维护装置对应的给定的位置，实施液滴喷头(15)的维护(加帽或清洁)。维护装置(44～47)在承载架移动方向(Y轴方向)上，位于在基板(32)上描绘的扫描时的承载架(18)所能够取得的最大移动范围(L)内。
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公开(公告)号：CN1820951B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610006489.9
申请日：2006-02-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 手塚睦人
IPC: B41J2/165
CPC classification number: B41J2/165
Abstract: 本发明提供可以在尽可能地将液滴喷出装置的尺寸控制得较小的同时配置维护装置，并且可以确保必需的液滴喷出位置精度的液滴喷出装置及液滴喷头的维护方法。维护单元(61、62)被配置于吸附台(19)的下方位置(待机位置)。在维护动作时，吸附台(19)向不与维护单元(61、62)干涉的位置退避，维护单元(61、62)的一方上升驱动，维护装置(44、47)或(45、46)被配置于维护位置。与其大致同步，承载架(18)移动，液滴喷头(15)被配置于与维护装置对应的给定的位置，实施液滴喷头(15)的维护(加帽或清洁)。维护装置(44～47)在承载架移动方向(Y轴方向)上，位于在基板(32)上描绘的扫描时的承载架(18)所能够取得的最大移动范围(L)内。
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公开(公告)号：CN1704177A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200510073567.2
申请日：2005-06-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供一种超声波转换器及其制造方法，可以使通过在固定电极(下电极)的表面上设置凹凸而提高了频率特性的宽频带化及电气信号和声波信号的转换效率的静电型超声波转换器，进一步提高输出声压能级，并且能够容易地对必要的固定电极(下电极)实施细微加工处理。该超声波转换器具有在绝缘体上形成有电极层的振动膜，和在与该振动膜相对的面上形成有多个凹凸部的固定电极，通过向形成于所述振动膜的电极层与所述固定电极之间施加交流信号，而产生超声波，并且在所述固定电极的凹凸部的凸部上面形成有槽部。
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