公开(公告)号：CN1248030C

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN200410028234.3

申请日：2004-03-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤达也 ,  大山武

IPC: G02F1/13 ,  G02B5/20 ,  B41J2/01

CPC classification number: H01L51/0005

Abstract: 本发明提供一种成膜方法，通过将液态材料粘覆在对象物(1)上形成具有给定周期的平面构造，采用以给定驱动周期(Td)供给液滴(4a)使液态材料可以粘覆在对象物(1)上的液滴供给装置(2)、并根据在对象物上应该形成的平面构造的周期性，按驱动周期的每个周期由液滴供给装置液滴控制供给的有无、液滴供给装置一边在扫描方向(X)以扫描速度(Vx)相对对象物扫描，一边由液滴供给装置的供给液滴。这时，将驱动周期和扫描速度的乘积的自然数倍数设定为在对象物上应该形成的平面周期结构在扫描方向上的结构周期。这样，在采用液滴供给装置将液态材料粘覆在对象物上的成膜方法中，可以降低用均匀化液态材料供给量都不能解决的成膜不均匀。

公开(公告)号：CN1527102A

公开(公告)日：2004-09-08

申请号：CN200410028234.3

申请日：2004-03-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤达也 ,  大山武

IPC: G02F1/13

CPC classification number: H01L51/0005

Abstract: 本发明提供一种成膜方法，通过将液态材料粘覆在对象物(1)上形成具有给定周期的平面构造，采用以给定驱动周期(Td)供给液滴(4a)使液态材料可以粘覆在对象物(1)上的液滴供给装置(2)、并根据在对象物上应该形成的平面构造的周期性，按驱动周期的每个周期由液滴供给装置液滴控制供给的有无、液滴供给装置一边在扫描方向(X)以扫描速度(Vx)相对对象物扫描，一边由液滴供给装置的供给液滴。这时，将驱动周期和扫描速度的乘积的自然数倍数设定为在对象物上应该形成的平面周期结构在扫描方向上的结构周期。这样，在采用液滴供给装置将液态材料粘覆在对象物上的成膜方法中，可以降低用均匀化液态材料供给量都不能解决的成膜不均匀。