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公开(公告)号：CN118999344A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410618380.9
申请日：2024-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01B9/02015 , G01B11/00 , G01B11/26 , G01H9/00
Abstract: 本发明提供激光干涉仪和激光干涉仪的光轴调整方法，抑制产生干涉条纹，并抑制受光信号中的S/N比降低，能够高效地进行激光干涉仪的光轴的调整。激光干涉仪具备光干涉部和指示部，光干涉部为非同轴光学系统，并具有：激光光源，射出激光；光调制器，对激光的频率进行调制而生成参照光；受光元件，接收通过激光照射至对象物而生成的物体光和参照光并输出受光信号；第一开口元件，配置于入射至受光元件的光路上，检测物体光的光轴相对于参照光的光轴的位置偏移；以及角度偏移检测部，基于受光信号检测物体光的光轴相对于参照光的光轴的角度偏移，指示部基于位置偏移的检测结果和角度偏移的检测结果发出变更光干涉部与对象物的相对配置的指示。
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公开(公告)号：CN118010142A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202311476310.6
申请日：2023-11-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 北川润
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明提供一种激光干涉仪，在抑制伴随着返回光的激光振荡的不稳定化的同时，能够抑制伴随着非调制分量的S/N比的降低。一种激光干涉仪具备：射出激光的激光光源；光调制器，具备通过驱动信号振动的振动元件以及设置于所述振动元件的光反射面，通过使所述激光在振动的所述光反射面反射，使调制信号与所述激光重叠；以及受光部，接收包括来自对象物的采样信号以及所述调制信号的所述激光，并输出受光信号，在将所述光反射面的法线与入射到所述光反射面的所述激光的入射光轴所成的角设为倾斜角θqom时，满足下述式(1)，0[deg]＜θqom＜5.7[deg](1)。
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公开(公告)号：CN114111999B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202110973053.1
申请日：2021-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 北川润
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请提供一种小型且采样信号的解调精度较高的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光为所述第一激光被对象物反射而生成的包含采样信号的光；光路长度可变部，其使所述第三激光传播的光路的光路长度发生变化。
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公开(公告)号：CN115855229A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211167610.1
申请日：2022-09-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 北川润
Abstract: 本发明提供的激光干涉仪能够提高根据受光信号解调来自测定对象物的采样信号的精度。激光干涉仪具备：激光光源；第一光分割器，将激光分割为第一分割光及第二分割光；光调制器，将第一分割光调制为参照光；第二光分割器，将物体光及参照光分割为第三分割光及第四分割光，物体光是第二分割光被测定对象物反射而生成的光；第一受光元件，接收第三分割光；以及第二受光元件，接收第四分割光；从第一光分割器朝向光调制器的第一分割光的光轴与从光调制器朝向第一光分割器的参照光的光轴错开，从第二光分割器至第一受光元件的光路长度与从第二光分割器至第二受光元件的光路长度之差为20mm以下。
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公开(公告)号：CN114111999A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110973053.1
申请日：2021-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 北川润
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请提供一种小型且采样信号的解调精度较高的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光为所述第一激光被对象物反射而生成的包含采样信号的光；光路长度可变部，其使所述第三激光传播的光路的光路长度发生变化。
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