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公开(公告)号：CN1719302A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510083555.8
申请日：2005-07-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种不必除去牺牲层便可形成且可使波长短于红外光的光分离的可调波长滤波器及其制造方法。可调波长滤波器(1)具有：固定基板(2)，其至少对可见光具有光透过性；和可动基板(3)，其由硅构成。可动基板(3)具有：可动部(31)、将可动部(31)支撑为能向Z方向位移的支撑部、和向可动部(31)通电的通电部(33)，且在可动部(31)的大致中央形成了圆柱形状的光透过部(36)。光透过部(36)由至少对可见光具有光透过性的材料构成。
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公开(公告)号：CN1580837A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410056345.5
申请日：2004-08-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供一种波长可变滤光器及其制造方法，本发明的波长可变滤光器是将在上表面形成有高反射膜(23)并支撑自由地上下移动的可动体(21a)的可动部(2)、形成有与可动体(21a)间隔静电间隙(EG)而相面对的驱动电极(12)的驱动电极部(1)、形成有与高反射膜(23)间隔光学间隙(OG)而相面对的高反射膜(32)的光学间隙部(3)相互接合而构成的。由此，能够以高精度形成静电间隙，以低驱动电压驱动，并防止制造时及使用时的粘附。
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公开(公告)号：CN101051096A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200410079178.6
申请日：2004-09-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01P1/20381
Abstract: 一种光学可调滤光器，包括：第一衬底，其具有光传输特性，并包括可动部分；第二衬底，其具有光传输特性，并设置为与第一衬底相对；第一间隙和第二间隙，它们分别设置在可动部分和第二衬底之间；干涉部分，其通过第二间隙引起可动部分和第二衬底之间的入射光的干涉；以及驱动部分，用于利用第一间隙通过相对于第二衬底移动可动部分来改变第二间隙的距离。这使得有可能提供一种具有简单结构和较小尺寸的光学可调滤光器，这样的光学可调滤光器可通过简化的制造过程进行制造而不使用释放孔，并能实现可动部分的稳定驱动，以及一种用于制造这样的光学可调滤光器的方法。
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公开(公告)号：CN1841119A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610079421.3
申请日：2006-01-28
Abstract: 本发明提供一种可防止从可变波长滤光器发射出的光衰减且相对于各种波长的光可进行波长分离的可变波长滤光器及其制造方法。其特征在于，具备：具有第一凹部(211)的固定基板(2)；与具备具有开口部分(311)的可动部(31)的固定基板(2)接合的可动基板(3)；用于覆盖开口部分(311)并接合到可动部(31)的透光基板(4)；在固定基板(2)上设置的固定反射膜(200)；在透光基板(4)上设置的隔开干涉用间隙(21)与固定反射膜(200)相对配置的可动反射膜(210)；通过相对于固定基板(2)改变可动部(31)的位置，来改变干涉用间隙(21)的间隔的驱动部，构成为：在固定反射膜(200)和可动反射膜(210)之间重复进行反射、且可向外部发射出与干涉用间隙21的间隔相对应的波长的干涉光。
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公开(公告)号：CN1624500A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410098255.2
申请日：2004-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103123417B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201310047231.3
申请日：2007-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村亮介
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明的目的在于提供可以在降低驱动电压的同时，对宽范围的波长的光使用的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)为可以通过在驱动电极和可动部(21)之间产生电位差，而在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化，在固定反射膜(35)和可动反射膜(25)之间反复进行光反射，产生光干涉，并向外部射出与它们之间距离对应的波长的光的结构，驱动电极具有隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置的第一驱动电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于可动反射膜(25)相反侧的面对置的第二驱动电极(43)。
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公开(公告)号：CN100538432C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200710002045.2
申请日：2007-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村亮介
Abstract: 本发明的目的在于提供在降低驱动电压的同时具有优越的光学特性的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)具备隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置且固定地设置在固定部上的第一电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于固定反射膜(35)相反侧的面对置且相对固定部固定地设置的第二电极(43)，第一电极(33)及第二电极(43)中，一电极作为用于检测与可动部(21)之间的静电电容的检测电极而发挥功能，另一电极作为用于在与可动部(21)之间产生电位差，由此在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化的驱动电极而发挥功能。
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公开(公告)号：CN103123417A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201310047231.3
申请日：2007-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村亮介
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明的目的在于提供可以在降低驱动电压的同时，对宽范围的波长的光使用的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)为可以通过在驱动电极和可动部(21)之间产生电位差，而在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化，在固定反射膜(35)和可动反射膜(25)之间反复进行光反射，产生光干涉，并向外部射出与它们之间距离对应的波长的光的结构，驱动电极具有隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置的第一驱动电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于可动反射膜(25)相反侧的面对置的第二驱动电极(43)。
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公开(公告)号：CN101051096B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200410079178.6
申请日：2004-09-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01P1/20381
Abstract: 一种光学可调滤光器，包括：第一衬底，其具有光传输特性，并包括可动部分；第二衬底，其具有光传输特性，并设置为与第一衬底相对；第一间隙和第二间隙，它们分别设置在可动部分和第二衬底之间；干涉部分，其通过第二间隙引起可动部分和第二衬底之间的入射光的干涉；以及驱动部分，用于利用第一间隙通过相对于第二衬底移动可动部分来改变第二间隙的距离。这使得有可能提供一种具有简单结构和较小尺寸的光学可调滤光器，这样的光学可调滤光器可通过简化的制造过程进行制造而不使用释放孔，并能实现可动部分的稳定驱动，以及一种用于制造这样的光学可调滤光器的方法。
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公开(公告)号：CN1289926C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200410056345.5
申请日：2004-08-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供一种波长可变滤光器及其制造方法，本发明的波长可变滤光器是将在上表面形成有高反射膜(23)并支撑自由地上下移动的可动体(21a)的可动部(2)、形成有与可动体(21a)间隔静电间隙(EG)而相面对的驱动电极(12)的驱动电极部(1)、形成有与高反射膜(23)间隔光学间隙(OG)而相面对的高反射膜(32)的光学间隙部(3)相互接合而构成的。由此，能够以高精度形成静电间隙，以低驱动电压驱动，并防止制造时及使用时的粘附。
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