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发明公开
一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置审中-实审

公开(公告)号：CN115604897A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211408479.3

申请日：2022-11-10

Applicant: 福州大学(CN)

Inventor： 何桐桐 , 郑怡泽 , 郑跃胜

IPC: H05H1/24

Abstract: 本发明涉及一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置。包括：等离子体发生装置、等离子体电源、气体混合装置和三维移动平台。气体混合装置将氦气、氩气和反应媒质TEOS混合，通入等离子体发生装置的介质管中；等离子体电源提供高压激励，介质管内产生等离子体射流；需处理的绝缘材料由三维移动平台控制在等离子体射流下方匀速移动，使材料整个表面得到均匀处理。本发明克服现有等离子体材料处理装置的缺陷，使得氦气和氩气化学特性互补，提高活性粒子产生效率，从而提高绝缘材料处理效果。

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