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公开(公告)号：CN117055244A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311168979.9
申请日：2023-09-12
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明公开了一种低电压驱动的薄膜电光调制器及其制备方法，该调制器采用阳离子掺杂的钛酸钡薄膜作为电光调制器的波导层材料，所述阳离子掺杂的钛酸钡薄膜相对于纯钛酸钡薄膜及其他薄膜材料具有更大的电光系数，故可以在低驱动电压下实现高效的光调制。此外，本发明还提供一种新的合成和致密工艺，用于制备掺杂的钙钛矿氧化物，从而可以精确控制其微观结构、介电、光学和电光特性。最后，通过优化波导器件的结构尺寸，进一步降低了调制器的驱动电压。本发明为获得低驱动电压光调制器提供了新的解决方案，有望推动光通信、显示技术和光电子学等领域的进步和发展。
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