公开(公告)号：CN206862927U

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201720523211.2

申请日：2017-05-12

Applicant: 福州大学

Inventor： 汪炳叔 ,  王菊荣 ,  刘慧敏 ,  杨容 ,  张鼎

IPC: G01N23/22 ,  G01N23/203

Abstract: 本实用新型涉及一种EBSD样品台，属于扫描电镜耗材领域，包括一支撑台和一载物台，所述支撑台的上部一侧设置有第一斜面，支撑台的上部另一侧设置有第二斜面，所述第一斜面与第二斜面之间经位于支撑台上端的一等宽平台面相连接，所述第一斜面上沿纵向间隔设置有若干个与第一斜面相垂直的第一圆孔，所述平台面上沿纵向间隔垂设有与第一圆孔相对应并连通的螺纹孔，所述螺纹孔内螺接有锁定螺钉，所述第二斜面上沿纵向间隔设置有与螺纹孔相对应并连通的第二圆孔，所述第二圆孔与第二斜面相垂直，所述支撑台的下端面上竖直连接有支撑连接柱，所述载物台包括一圆台，所述圆台的下端面上连接有一可插入第一圆孔和第二圆孔的连接柱。该EBSD样品台不仅结构简单，而且通用性强。

公开(公告)号：CN206862928U

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201720534086.5

申请日：2017-05-15

Applicant: 福州大学

Inventor： 汪炳叔 ,  刘慧敏 ,  杨容 ,  张鼎 ,  王菊荣

IPC: G01N23/22

Abstract: 本实用新型涉及一种可调节角度扫描电镜样品台，包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽。该可调节角度扫描电镜样品台实现了多个不同形状样品批量扫描，避免频繁的装样和抽放真空，提高了扫描测试的效率；实现了样品扫描角度可控性，使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量。