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公开(公告)号：CN119265648A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411798116.4
申请日：2024-12-09
Applicant: 燕山大学
IPC: C25D1/00
Abstract: 本发明公开了一种直液式三维微结构精密电铸成型部件及其使用方法，涉及微电铸成型技术领域，包括排气阀、密封塞、储液管、电极丝、电极导管、导电基板、电源等。该装置通过创新的电解液供给与流量调节机制，通过外接XYZ三坐标精密微动平台，实现精确的运动控制，同时实现对电解液流动的精细调控；电极丝经过亲水性处理，使电解液能够缓慢流入阴极基底。该方法通过精确控制电极丝与导电基板之间的距离，以及电极丝在XY平面内的移动轨迹，逐层构建金属结构，形成高精度、高纵横比的三维结构，具有定位精度高、定域性良好、表面质量高以及成本低廉等优点，为微电铸成型领域提供了一种高效、低成本的三维结构加工解决方案。
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公开(公告)号：CN114879606B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202210475881.7
申请日：2022-04-29
Applicant: 燕山大学
IPC: G05B19/4103
Abstract: 本发明公开一种任意参数曲线微细加工精度自适应控制插补方法，通过初始参数增量求解刀具下一目标轨迹点坐标，并计算刀具当前坐标距目标坐标的轴向偏差。当某轴向偏差Δ≤kP时，该轴的下一步运动暂停；当轴向偏差kP
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公开(公告)号：CN114879606A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210475881.7
申请日：2022-04-29
Applicant: 燕山大学
IPC: G05B19/4103
Abstract: 本发明公开一种任意参数曲线微细加工精度自适应控制插补方法，通过初始参数增量求解刀具下一目标轨迹点坐标，并计算刀具当前坐标距目标坐标的轴向偏差。当某轴向偏差Δ≤kP时，该轴的下一步运动暂停；当轴向偏差kP
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公开(公告)号：CN117081418A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202310503615.5
申请日：2023-05-06
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明公开一种用于电解微加工的尖脉冲电源拓扑结构，包括脉冲发生电路产生频率、幅值及占空比可调的脉冲电压信号，脉冲信号通过多级微分电路处理后，转换为高频、窄脉宽的交流尖脉冲电压信号，再利用全波整流电路滤除负电压，得到与输入脉冲信号频率一致的正向尖脉冲信号，最后将所得到的正向尖脉冲信号通过功率放大电路后，即可获得能够直接用于电解微加工的高频尖脉冲电压信号，尖脉冲电源还包括快速短路保护电路，在发生短路时，快速保护电路迅速控制尖脉冲电源断电，用于保护脉冲电源，工具电极和阳极工件。本发明将脉冲电压脉宽缩短至亚纳秒级，本发明结构简单，成本低，稳定性好，能够明显提高脉冲电解加工精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114515874A
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202210307523.5
申请日：2022-03-25
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明涉及一种移动掩膜微细电解加工装置及方法，包括电极丝、电极帽、电极座、支架、电解液进/出口和掩膜板；电极丝固定在电极帽上，电极帽通过螺纹联接固定在电极座上，电极座安装在支架上，支架固定在加工机床上，电极座可以在支架内上下滑动；掩膜板固定在电极座下端面，靠电极帽和电极座的重力作用将掩膜板压紧贴合在所加工工件表面，通过电解液进/出口完成电解液循环，排出电解加工产物。本发明能够通过单孔掩膜实现复杂微结构图案的刻蚀加工，通用性高、成本低、结构简单、装配使用方便，解决了加工不同微结构需要制备大量掩膜板的难题，尤其在掩膜微细电解加工中具有重要应用价值。
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公开(公告)号：CN113146389A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110510940.5
申请日：2021-05-11
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明公开了一种微细电极端面自动磨平装置和方法，属于微细加工领域，包括龙门架、底座、z轴高速/微动电移台、x轴微动电移台、直角支架、电极夹具、砂纸、柔性支架、支架座、滑轨、位移传感器、应变传感器等；微细电极固定在电极夹具上，通过z轴高速/微动电移台和位移传感器实现微细电极磨削的自动对刀，电极与砂纸接触后，利用柔性支架克服重力后的弹性张力提供电极的磨削力，通过x轴微动电移台控制电极在砂纸上沿x轴方向往复运动实现微细电极端平面的微量、高精度自动磨削加工；通过应变传感器实时检测柔性支架应变量进而控制磨削力大小并实现电极磨削量的自动补偿。本发明解决了电化学腐蚀或在线磨削微细电极端面难以二次加工的难题。
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公开(公告)号：CN114515874B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202210307523.5
申请日：2022-03-25
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明涉及一种移动掩膜微细电解加工装置及方法，包括电极丝、电极帽、电极座、支架、电解液进/出口和掩膜板；电极丝固定在电极帽上，电极帽通过螺纹联接固定在电极座上，电极座安装在支架上，支架固定在加工机床上，电极座可以在支架内上下滑动；掩膜板固定在电极座下端面，靠电极帽和电极座的重力作用将掩膜板压紧贴合在所加工工件表面，通过电解液进/出口完成电解液循环，排出电解加工产物。本发明能够通过单孔掩膜实现复杂微结构图案的刻蚀加工，通用性高、成本低、结构简单、装配使用方便，解决了加工不同微结构需要制备大量掩膜板的难题，尤其在掩膜微细电解加工中具有重要应用价值。
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公开(公告)号：CN113146389B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202110510940.5
申请日：2021-05-11
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明公开了一种微细电极端面自动磨平装置和方法，属于微细加工领域，包括龙门架、底座、z轴高速/微动电移台、x轴微动电移台、直角支架、电极夹具、砂纸、柔性支架、支架座、滑轨、位移传感器、应变传感器等；微细电极固定在电极夹具上，通过z轴高速/微动电移台和位移传感器实现微细电极磨削的自动对刀，电极与砂纸接触后，利用柔性支架克服重力后的弹性张力提供电极的磨削力，通过x轴微动电移台控制电极在砂纸上沿x轴方向往复运动实现微细电极端平面的微量、高精度自动磨削加工；通过应变传感器实时检测柔性支架应变量进而控制磨削力大小并实现电极磨削量的自动补偿。本发明解决了电化学腐蚀或在线磨削微细电极端面难以二次加工的难题。
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公开(公告)号：CN112630268A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011348479.X
申请日：2020-11-26
Applicant: 燕山大学
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明公开一种双极式微型离子浓度传感器及其测量系统，包括激励信号源、可调电感以及双极性探头，激励信号源一端电性连接可调电感，可调电感另一端与双极性探头的左探头电性连接，激励信号源的另一端与双极性探头的右探头电性连接，左探头和右探头内嵌在探头架中；左探头和右探头的上端分别电性连接信号放大电路的输入端，信号放大电路电性连接低通滤波器的输入端，低通滤波器的输出端与数据处理器输入端连接，数据处理器输出端连接显示器；该器件具有结构简单紧凑、灵敏度高、成本低廉等优点。浓度探头尺寸微小，便于微机电系统集成，能够用于微细电解加工电解液微量浓度变化的测量，提高微细电解加工效率。
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