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公开(公告)号：CN111558399A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN202010540089.6
申请日：2020-06-12
Applicant: 海南大学
Abstract: 本发明公开了一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置及方法,制备装置包括有数个气瓶、真空管式炉和真空泵，其中数个气瓶通过管路与真空管式炉相连接，真空泵通过管路与真空管式炉的内腔相连通。其方法为：步骤一、截取设定长度的钛丝或设定面积的钛片；步骤二、采用真空镀膜机进行薄膜制备；步骤三、将步骤二中镀有钛膜的试样放置于真空管式炉中；步骤四、控制通气后炉内的总气压。有益效果：制备的掺杂型二氧化钛薄膜方法简单，薄膜成分和结构调控方便灵活，制备得到的薄膜表面质量高，涂层结合力好，具有光催化性能和抗菌性。
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公开(公告)号：CN118751227A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410970962.3
申请日：2020-06-12
Applicant: 海南大学
IPC: B01J21/06 , C23C14/24 , C23C14/14 , C23C14/58 , C23C14/26 , B01J21/18 , B01J27/24 , B01J35/39 , B01J37/08 , A01N59/16 , A01P1/00
Abstract: 本发明公开了一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置及方法,制备装置包括有数个气瓶、真空管式炉和真空泵，其中数个气瓶通过管路与真空管式炉相连接，真空泵通过管路与真空管式炉的内腔相连通。其方法为：步骤一、截取设定长度的钛丝或设定面积的钛片；步骤二、采用真空镀膜机进行薄膜制备；步骤三、将步骤二中镀有钛膜的试样放置于真空管式炉中；步骤四、控制通气后炉内的总气压。有益效果：制备的掺杂型二氧化钛薄膜方法简单，薄膜成分和结构调控方便灵活，制备得到的薄膜表面质量高，涂层结合力好，具有光催化性能和抗菌性。
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公开(公告)号：CN212263279U
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202021076000.7
申请日：2020-06-12
Applicant: 海南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置,制备装置包括有数个气瓶、真空管式炉和真空泵，其中数个气瓶通过管路与真空管式炉相连接，真空泵通过管路与真空管式炉的内腔相连通。其方法为：步骤一、截取设定长度的钛丝或设定面积的钛片；步骤二、采用真空镀膜机进行薄膜制备；步骤三、将步骤二中镀有钛膜的试样放置于真空管式炉中；步骤四、控制通气后炉内的总气压。有益效果：制备的掺杂型二氧化钛薄膜方法简单，薄膜成分和结构调控方便灵活，制备得到的薄膜表面质量高，涂层结合力好，具有光催化性能和抗菌性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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