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公开(公告)号：CN114502929B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202080070357.0
申请日：2020-10-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置包括：配线基板；配置在配线基板的安装面的第1支承部；法布里‑珀罗干涉滤光片，具有相互的距离为可变的第1反射镜部和第2反射镜部，外缘部配置在第1支承部的第1支承区域；光检测器，在第1支承部的一侧以与第1反射镜部和第2反射镜部相对的方式配置在安装面；和配置在安装面的温度检测器，温度检测器以在从与安装面垂直的第1方向看时、温度检测器的至少一部分与法布里‑珀罗干涉滤光片的一部分重叠的方式，且以在从第1支承部与光检测器排列的第2方向看时、温度检测器的至少一部分与第1支承部的一部分重叠的方式，配置在安装面，第2方向上的温度检测器与第1支承部之间的第1距离，小于第2方向上的第1支承区域的第1宽度。
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公开(公告)号：CN111357092B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201880073818.2
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 吸附方法是使用吸附夹头吸附具备基板、及设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部的法布里‑帕罗干涉滤波器的吸附方法，具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹头接触于上述法布里‑帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在上述第2工序之后，通过上述吸附夹头吸附上述法布里‑帕罗干涉滤波器。
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公开(公告)号：CN115291384A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202211107728.5
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部。在多个法布里‑帕罗干涉滤光器部及多个虚设滤光器部的各个中，至少第2镜部被第1槽包围。
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公开(公告)号：CN111480105A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201880075390.5
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里-帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里-帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。
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公开(公告)号：CN111480105B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201880075390.5
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里‑帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112789541A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201980065091.8
申请日：2019-09-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器具备：基板，其具有第1表面；第1层叠体，其具有配置于第1表面的第1镜部；第2层叠体，其具有相对于第1镜部在与基板的相反侧经由空隙而与第1镜部相对的第2镜部；中间层，其具有在第1层叠体与第2层叠体之间划定空隙的划定部；第1电极，其形成于构成第1层叠体的第1层；及第2电极，其形成于构成第2层叠体的第2层，并与第1电极相对。中间层进而具有：被覆部，其被覆构成第1层叠体的层中包含第1层的多层的外缘；及延伸部，其沿着平行于第1表面的方向自被覆部向外侧延伸。第2层叠体以通过被覆部被覆形成于划定部与延伸部之间的阶差面、及延伸部的外端面的方式延伸。
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公开(公告)号：CN111406228A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201880075447.1
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆(100)，该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。
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公开(公告)号：CN111357091A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201880073809.3
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 吸附方法是使用吸附夹头吸附法布里-帕罗干涉滤波器的吸附方法，该法布里-帕罗干涉滤波器具备基板、设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部、及自与上述主面交叉的方向观察位于上述层叠结构部的外侧且较上述主面更朝上述基板侧凹陷的薄化部，该吸附方法具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹头接触于上述法布里-帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在上述第2工序之后，通过上述吸附夹头吸附上述法布里-帕罗干涉滤波器。
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公开(公告)号：CN110366673A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201880014153.8
申请日：2018-02-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置具备：封装体，其设置有窗部；法布里-珀罗干涉滤波器，其在封装体内，使自窗部入射的光透过；及光检测器，其在封装体内，检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光。法布里-珀罗干涉滤波器具有：基板，其具有窗部侧的第1表面及光检测器侧的第2表面；第1层构造体，其配置于第1表面，设置有第1镜部及第2镜部；及透镜部，其一体地设置于第2表面侧，且将透过了第1镜部及第2镜部的光聚光于光检测器。
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公开(公告)号：CN109313334A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780032566.4
申请日：2017-05-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法包括：形成工序，其在晶圆的第1主面，形成具有多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有多个第2镜部的第2镜层，且形成将第1镜层、牺牲层、及第2镜层的至少一者沿多条线的各个部分地薄化而成的第1薄化区域；切断工序，其在形成工序之后，通过激光的照射，沿多条线的各个在晶圆的内部形成改质区域，且沿多条线的各个将晶圆切断成多个基板；及去除工序，其在形成工序与切断工序之间、或在切断工序之后，通过蚀刻而自牺牲层将去除预定部去除。
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