用于新型复合式数字伺服执行器的旋转配油阀

    公开(公告)号:CN105673888B

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201610207651.7

    申请日:2016-04-06

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于新型复合式数字伺服执行器的旋转配油阀。本发明主要由阀体、阀芯、和驱动电机组成,驱动电机驱动阀芯在阀体内转动;阀芯上开有阀芯压力油道、阀芯回油通道和相应的连通开口。阀体上开有阀体压力油道、阀体回油油道、阀体辅助油道及相应的连通开口。通过控制所述阀芯在所述阀体中的具体位置可交替对液压作动器进行供油,并且同时其他液压作动器的压力油道被截断,其回油油道处于连通状态,可向油箱回油。本发明通过合理巧妙的油路布局,集成了交替供油及回油功能,增加了系统的集成度,降低了成本,提高了可靠度。

    键合晶圆气泡检测装置及分选系统

    公开(公告)号:CN115863197A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211524975.5

    申请日:2022-11-30

    Abstract: 本发明涉及半导体制造技术领域,具体公开了键合晶圆气泡检测装置及分选系统。该装置用于检测键合晶圆,包括平台和晶圆载台;平台安装有红外光源和检测模块,红外光源用于照射位于检测位置的键合晶圆,检测模块包括立柱、固设于立柱的第一视觉检测单元和活动安装于立柱的第二视觉检测单元,第一视觉检测单元正对检测位置,第二视觉检测单元选择性地置于第一视觉检测单元与检测位置的连线之间,平台设有至少两个承载位置;晶圆载台与承载位置数量相同且对应,用于将键合晶圆在检测位置与一个承载位置之间移动。该装置通过多个晶圆载台共用同一检测模块的设计,优化了检测流程,提高了检测效率,同时借助检测模块的改进,方便视觉检测模式的切换。

    一种运动轴热误差动态补偿方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115629572A

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202211093728.4

    申请日:2022-09-07

    Abstract: 本发明公开了一种运动轴热误差动态补偿方法,包括以下步骤:S1、建立模型:建立运动轴的三维模型并导入仿真软件中;S2、边界条件计算:定义运动副的运动参数、冷却液的入口速度和出口压力、运动副粘性阻尼和环境温度,根据上述定义计算边界条件;S3、模型仿真:根据计算得到的边界条件,在仿真软件中对运动轴三维模型对进行热力学和静力学有限元仿真分析,得到仿真结果;S4、热误差模型建立;S5、热误差补偿:将热误差预测模型嵌入运动轴数控系统中,实现运动轴的热误差补偿。本发明相较于现有技术,有效消除芯片加工过程中运动轴热误差导致的定位精度问题。

    用于新型复合式数字伺服执行器的旋转配油阀

    公开(公告)号:CN105673888A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610207651.7

    申请日:2016-04-06

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: F16K11/08 F15B13/02

    Abstract: 本发明公开了一种用于新型复合式数字伺服执行器的旋转配油阀。本发明主要由阀体、阀芯、和驱动电机组成,驱动电机驱动阀芯在阀体内转动;阀芯上开有阀芯压力油道、阀芯回油通道和相应的连通开口。阀体上开有阀体压力油道、阀体回油油道、阀体辅助油道及相应的连通开口。通过控制所述阀芯在所述阀体中的具体位置可交替对液压作动器进行供油,并且同时其他液压作动器的压力油道被截断,其回油油道处于连通状态,可向油箱回油。本发明通过合理巧妙的油路布局,集成了交替供油及回油功能,增加了系统的集成度,降低了成本,提高了可靠度。

    基于Terfenol-D驱动的数字液压泵

    公开(公告)号:CN104088778A

    公开(公告)日:2014-10-08

    申请号:CN201410312882.5

    申请日:2014-07-02

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于Terfenol-D驱动的数字液压泵。本发明中的弹性膜片将泵体分为上下两部分,其中上部分为油路结构,下部分为驱动结构。油路结构包括进油口、出油口,进油口通过进油口单向阀与位于弹性膜片上方的泵腔联通,泵腔通过出油口单向阀与出油口联通。驱动结构包括磁致伸缩致动器、线圈、刚性元件和弹簧,磁致伸缩致动器的推杆上套置有弹簧,刚性元件设置在推杆的顶端并与弹性膜片固定连接,线圈绕在磁致伸缩致动器外围。本发明采用大推力、大位移的Terfenol-D致动器作为驱动源,最大额定工作压力可以达到10MPa。

    一种多功能手套式一次性皮肤擦拭巾

    公开(公告)号:CN218305114U

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202221293357.X

    申请日:2022-05-27

    Abstract: 本实用新型属于医用设备领域,公开了一种多功能手套式一次性皮肤擦拭巾,包括手套本体,手套本体由吸水层、防水层和吸汗层三层组成;手套本体包括手心功能区、手指功能区和手背功能区,手套本体套口处连接有弹力带;本实用新型解决了现有技术擦拭不灵活及手部易污染的问题,可穿戴的手套结构,可用于使用者穿戴,使用时更加方便;不同纹路清理不同的部位,如凸点可增加摩擦力清除顽固污渍,螺纹可清理皮肤凹凸不平的部位如肚皮,实现一物多用的功能。

    一种足踝、足弓训练装置

    公开(公告)号:CN218306022U

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202220929628.X

    申请日:2022-04-21

    Inventor: 王旦 金建美

    Abstract: 本实用新型属于医疗器械领域,公开了一种足踝、足弓训练装置,包括小腿固定板和脚掌固定板,小腿固定板连接有连接板,连接板连接有连接杆,脚掌固定板与连接杆转动连接,小腿固定板连接有第一固定柱,脚掌固定板连接有第二固定柱,第一固定柱连接有气动弹簧,气动弹簧自由端与第二固定柱连接,脚掌固定板滑动连接有伸缩杆,伸缩杆连接有足勾杆,脚掌固定板连接有限位装置,限位装置与伸缩杆相互配合,脚掌固定板连接有倾角传感器和显示播报器,倾角传感器与显示播报器电连接,采用本技术方案方便调节训练阻力,同时可以使患者直观的了解训练是否达到康复要求,结构简单、制作成本低,便于广泛使用。

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