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公开(公告)号：CN115275781B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202210973974.2
申请日：2022-08-15
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于聚合物材料的面发射激光器及其制备工艺，该面发射激光器包括半导体激光芯片结构和聚合物波导结构；半导体激光芯片结构包括衬底和在衬底上生长的外延层，聚合物波导结构包括直波导结构和垂直发射结构，直波导结构中间为芯层，芯层由上包层和下包层包裹；半导体激光芯片结构的一部分掩埋在聚合物波导结构中，另一部分裸露在空气中，而聚合物波导结构远离半导体激光芯片结构的一端设置为垂直发射结构，该垂直发射结构为45°反射镜面结构或二阶光栅结构。本发明将有源器件边发射激光器与无源器件聚合物波导进行集成，实现激光出射方向由边发射转换为面发射，实现了面发射激光器的制备，制作工艺简单、易操作，成本低。
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公开(公告)号：CN115275781A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210973974.2
申请日：2022-08-15
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于聚合物材料的面发射激光器及其制备工艺，该面发射激光器包括半导体激光芯片结构和聚合物波导结构；半导体激光芯片结构包括衬底和在衬底上生长的外延层，聚合物波导结构包括直波导结构和垂直发射结构，直波导结构中间为芯层，芯层由上包层和下包层包裹；半导体激光芯片结构的一部分掩埋在聚合物波导结构中，另一部分裸露在空气中，而聚合物波导结构远离半导体激光芯片结构的一端设置为垂直发射结构，该垂直发射结构为45°反射镜面结构或二阶光栅结构。本发明将有源器件边发射激光器与无源器件聚合物波导进行集成，实现激光出射方向由边发射转换为面发射，实现了面发射激光器的制备，制作工艺简单、易操作，成本低。
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