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发明公开
一种横向激发体声波谐振器审中-实审

公开(公告)号：CN116248065A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202310168214.9

申请日：2023-02-27

Applicant: 江南大学

Inventor： 郭瑜 , 周辰音 , 俞振一 , 周勇

IPC: H03H9/02 , H03H9/56 , H03H9/58

Abstract: 本发明涉及一种横向激发体声波谐振器,其包括衬底以及设置于所述衬底上的第一压电层，所述第一压电层上连接有多个金属电极，相邻的所述金属电极之间设有第二压电层，所述第一压电层上设有多个凹槽，所述第二压电层位于所述凹槽内，所述第二压电层的表面与所述第一压电层的表面齐平，所述第二压电层的介电常数小于所述第一压电层的介电常数。本发明通过改变压电层的介电常数，扩大谐振器机电耦合系数的范围，从而提高器件性能，满足目前超宽带滤波器的需求。

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