公开(公告)号：CN112534081B

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN201980054363.4

申请日：2019-08-19

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 高桥哲也 ,  广田悟史 ,  R·克里默

IPC: C23C16/44 ,  C30B29/04

Abstract: 本发明提供一种能够容易进行丝的装拆、更换作业的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置（1）包括腔室（2）、支撑多个基材（5）的基材支撑体（4）、丝部件（6A、6B、6C）以及一对保持部（71、72）。丝部件具有多个丝（60）、第一框部（61）、第二框部（62）以及一对连结构件（63）。此外，一对保持部（71、72）在将丝部件插入于腔室（2）时引导该丝部件，并且，在腔室（2）内以与多个基材（5）相向的方式保持该丝部件。

公开(公告)号：CN112534081A

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN201980054363.4

申请日：2019-08-19

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 高桥哲也 ,  广田悟史 ,  R·克里默

IPC: C23C16/44 ,  C30B29/04

Abstract: 本发明提供一种能够容易进行丝的装拆、更换作业的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置（1）包括腔室（2）、支撑多个基材（5）的基材支撑体（4）、丝部件（6A、6B、6C）以及一对保持部（71、72）。丝部件具有多个丝（60）、第一框部（61）、第二框部（62）以及一对连结构件（63）。此外，一对保持部（71、72）在将丝部件插入于腔室（2）时引导该丝部件，并且，在腔室（2）内以与多个基材（5）相向的方式保持该丝部件。