-
公开(公告)号：CN117987784A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311473629.3
申请日：2023-11-07
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明提供一种电弧蒸发源，其包括：包含靶材放电面的靶材；电弧电源；被配置在靶材的前方的位置的电磁线圈；以及被配置在靶材的后方的位置的中央磁铁。电磁线圈形成包含与靶材放电面交叉且以沿前后方向通过该电磁线圈的径向内侧的方式延伸的第一磁力线的第一磁场。中央磁铁形成包含在该中央磁铁与靶材放电面之间的区域沿前后方向延伸的第二磁力线的第二磁场。基于第一磁场和第二磁场的排斥作用，在靶材放电面上稳定地形成水平磁场和垂直磁场。据此，通过促进靶材放电面上的电弧斑点的移动，能够抑制飞向工件的宏粒子的发生。
Search Results
1
records
(took 0.017 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
