公开(公告)号：CN118922578A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202380027757.7

申请日：2023-03-08

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社莫尓蒂诺刀具

Inventor： 高桥哲也 ,  竹井良将 ,  日野绫 ,  佐佐木智也

IPC: C23C14/06

Abstract: 本发明的被覆构件包括：基材；以及硬质覆膜，形成于基材的表面，并且含有金属元素的氮化物或碳氮化物，其中，在硬质覆膜含有的金属元素和半金属元素的总量中，Al含量为65原子％以上且85原子％，Cr含量为15原子％以上且35原子％以下，并且，Al和Cr的合计含量为90原子％以上且100原子％以下，在根据透射电子显微镜的选区衍射图案求出的强度分布中，在基材附近和在表面附近显示最大峰强度的晶面不相同，在基材附近，与面心立方晶格结构的(111)面或(200)面对应的峰显示最大强度，在表面附近，与面心立方晶格结构的(220)面对应的峰强度为在与面心立方晶格结构的(200)面对应的峰强度和与(111)面对应的峰强度中的较大者的0.6倍以上。

公开(公告)号：CN119948195A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202380062087.2

申请日：2023-08-14

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 高桥哲也 ,  竹井良将

IPC: C23C14/02 ,  H05H1/46

Abstract: 离子轰击装置(1)具有真空腔室(2)、基材支撑部(11)、丝(3)、放电电源(22)、丝加热电源(3T)以及磁场产生机构(20)。丝(3)具有一端部(31)和另一端部(32)。磁场产生机构(20)包括：在包含丝(3)的一端部(31)的区域中产生第1磁场的第1磁场产生部(201)；以及在包含丝(3)的另一端部(32)的区域中产生第2磁场的第2磁场产生部(202)。由所述第1磁场及所述第2磁场增强丝(3)的端部附近的等离子体，从而能够降低等离子体密度的偏差、以及蚀刻量的偏差。