公开(公告)号：CN109778149B

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN201811317375.5

申请日：2018-11-07

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 慈幸范洋 ,  矶村良幸 ,  冲本忠雄

IPC: C23C16/515 ,  C23C16/503 ,  C23C16/30 ,  C23C16/54 ,  H01L51/50 ,  H01L51/56

Abstract: 提供一种对于水蒸汽的阻隔性能提高的阻气膜、气体阻隔性薄膜和该气体阻隔性薄膜的制造方法。本发明的一个方式的阻气膜，至少含有氧、硅和碳，在由衰减全反射法得到的光谱中，处于3400cm－1附近由O－H键引起的峰值的强度相对于处于1000cm－1附近由Si－O键引起的峰值强度的比为0.019以下。本发明的另一方式的气体阻隔性薄膜，具备基材、和层叠在该基材的一侧的面上的上述阻气膜。本发明再一方式的气体阻隔性薄膜的制造方法，具备如下工序：使用配置在真空室内、且具备一对成膜辊和气体供给部的成膜装置，将基材卷绕到上述一对成膜辊上的工序；通过等离子体化学气相沉积法使上述阻气膜层叠在上述基材上的工序。

公开(公告)号：CN109778149A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201811317375.5

申请日：2018-11-07

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 慈幸范洋 ,  矶村良幸 ,  冲本忠雄

IPC: C23C16/515 ,  C23C16/503 ,  C23C16/30 ,  C23C16/54 ,  H01L51/50 ,  H01L51/56

Abstract: 提供一种对于水蒸汽的阻隔性能提高的阻气膜、气体阻隔性薄膜和该气体阻隔性薄膜的制造方法。本发明的一个方式的阻气膜，至少含有氧、硅和碳，在由衰减全反射法得到的光谱中，处于3400cm－1附近由O－H键引起的峰值的强度相对于处于1000cm－1附近由Si－O键引起的峰值强度的比为0.019以下。本发明的另一方式的气体阻隔性薄膜，具备基材、和层叠在该基材的一侧的面上的上述阻气膜。本发明再一方式的气体阻隔性薄膜的制造方法，具备如下工序：使用配置在真空室内、且具备一对成膜辊和气体供给部的成膜装置，将基材卷绕到上述一对成膜辊上的工序；通过等离子体化学气相沉积法使上述阻气膜层叠在上述基材上的工序。

公开(公告)号：CN108146047A

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201711002028.9

申请日：2017-10-24

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 慈幸范洋 ,  川上信之 ,  矶村良幸 ,  冲本忠雄

IPC: B32B27/36 ,  B32B27/06 ,  B32B33/00 ,  B32B37/00 ,  B32B38/00 ,  B32B38/18 ,  C23C16/34 ,  C23C16/513 ,  H01L51/50

Abstract: 本发明其课题在于，提供一种既具有充分的阻气性，翘曲又小的氮化硅层叠膜。本发明的氮化硅层叠膜，其特征在于，是具备柔性基材、和形成于所述柔性基材的至少一侧的表面的单层或多层的薄膜层的氮化硅层叠膜，所述单层或多层的薄膜层之中至少1层的特定薄膜层含有硅、氮和氢，表示所述特定薄膜层内的膜厚方向位置与氢原子的含量的关系的氢分布曲线具有至少1个极大点和至少1个极小点。

公开(公告)号：CN109955567B

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN201811346623.9

申请日：2018-11-13

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 慈幸范洋 ,  川上信之 ,  矶村良幸 ,  碇贺充 ,  冲本忠雄

IPC: B32B27/06 ,  B32B27/16 ,  B32B27/32 ,  B32B27/36 ,  B32B38/00 ,  C23C16/50

Abstract: 提供一种具有优异的防水性和透明性且不会因膜剥落造成防水性降低的防水性透明薄膜，能够简易且有效率地生产该防水性透明薄膜的防水性透明薄膜的制造方法，以及可隔绝水滴等加以保护，并且可视性优异的显示器和光学调整薄膜。本发明的一方式的防水性透明薄膜，是对表面之中的至少一部分的区域实施过防水处理的防水性透明薄膜，其特征在于，上述防水处理区域的表层部含有碳、氟和氧，在以X射线光电子能谱法测定的上述表层部的深度方向的氟原子含量的分布曲线上，上述氟原子含量在上述表面显示最大值，随着上述深度的增加而递减。本发明的另一方式是具备上述防水性透明薄膜的显示器。本发明的再一方式是外层使用有上述防水性透明薄膜的光学调整薄膜。

公开(公告)号：CN109955567A

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：CN201811346623.9

申请日：2018-11-13

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 慈幸范洋 ,  川上信之 ,  矶村良幸 ,  碇贺充 ,  冲本忠雄

IPC: B32B27/06 ,  B32B27/16 ,  B32B27/32 ,  B32B27/36 ,  B32B38/00 ,  C23C16/50

Abstract: 提供一种具有优异的防水性和透明性且不会因膜剥落造成防水性降低的防水性透明薄膜，能够简易且有效率地生产该防水性透明薄膜的防水性透明薄膜的制造方法，以及可隔绝水滴等加以保护，并且可视性优异的显示器和光学调整薄膜。本发明的一方式的防水性透明薄膜，是对表面之中的至少一部分的区域实施过防水处理的防水性透明薄膜，其特征在于，上述防水处理区域的表层部含有碳、氟和氧，在以X射线光电子能谱法测定的上述表层部的深度方向的氟原子含量的分布曲线上，上述氟原子含量在上述表面显示最大值，随着上述深度的增加而递减。本发明的另一方式是具备上述防水性透明薄膜的显示器。本发明的再一方式是外层使用有上述防水性透明薄膜的光学调整薄膜。