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公开(公告)号:CN102084421A
公开(公告)日:2011-06-01
申请号:CN200980125743.9
申请日:2009-09-03
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: G11B7/258
CPC classification number: C23C14/205 , G11B7/2585
Abstract: 本发明提供反射膜表面高精度再现形成于基板上的凹槽或凹点等,实现光信息记录介质的噪声的减小,并且具有高的反射率的Al基合金反射膜,以及对形成这样的反射膜有用的溅射靶材。本发明的光信息记录介质用反射膜用于光信息记录介质,实质上由含有2.0~15.0原子%的稀土类元素的Al基合金形成,反射膜的厚度方向的微晶尺寸为30nm以下。