-
公开(公告)号:CN1487784A
公开(公告)日:2004-04-07
申请号:CN03148982.6
申请日:2003-07-03
Applicant: 株式会社电装
CPC classification number: H05K3/4069 , H05K1/0269 , H05K3/0035 , H05K3/0055 , H05K3/4614 , H05K3/4617 , H05K2201/0394 , H05K2203/0191 , H05K2203/0264 , H05K2203/108 , H05K2203/161
Abstract: 本发明提供一种多层基板形成用素板的检查装置,在粘附有保护膜(81)的多层基板形成用素板(21)上照射光,使用摄像机(2)对保护膜(81)的粘附面的图像进行摄像,基于孔(24)的部分与保护膜(81)的光的反射率的不同,检查过孔(24)的好坏。实施上色以便使保护膜(81)的光反射率降低,使过孔(24)的反射率与保护膜(81)的反射率产生明确的差。因此,根据由摄像机(2)拍摄的图像,可以高精度地检查过孔的大小或是否附着着尘埃等,可以高精度地检查过孔(24)的好坏。
-
公开(公告)号:CN1251563C
公开(公告)日:2006-04-12
申请号:CN03148982.6
申请日:2003-07-03
Applicant: 株式会社电装
CPC classification number: H05K3/4069 , H05K1/0269 , H05K3/0035 , H05K3/0055 , H05K3/4614 , H05K3/4617 , H05K2201/0394 , H05K2203/0191 , H05K2203/0264 , H05K2203/108 , H05K2203/161
Abstract: 本发明提供一种多层基板形成用素板的检查装置,在粘附有保护膜(81)的多层基板形成用素板(21)上照射光,使用摄像机(2)对保护膜(81)的粘附面的图像进行摄像,基于孔(24)的部分与保护膜(81)的光的反射率的不同,检查过孔(24)的好坏。实施上色以便使保护膜(81)的光反射率降低,使过孔(24)的反射率与保护膜(81)的反射率产生明确的差。因此,根据由摄像机(2)拍摄的图像,可以高精度地检查过孔的大小或是否附着尘埃等,可以高精度地检查过孔(24)的好坏。
-