公开(公告)号：CN100357799C

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200510069975.0

申请日：2005-05-11

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 栗田诚 ,  后藤顺

IPC: G02F1/133 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G09F9/00

CPC classification number: G02F1/133555 ,  G02F1/13439 ,  H01L27/12 ,  H01L27/124

Abstract: 本发明提供一种不增加成膜装置的成本，就能防止由透明导电膜的电池反应所引起的劣化的显示装置。所述显示装置包括：由以氧化铟为主要成分的透明导电膜形成的第1导电层、形成在上述第1导电层的上面的导电性的基底层、由以Al为主要成分的膜形成在上述基底层的上面的第2导电层、以及由与上述第2导电层相同的材料形成在上述第2导电层的上面的第3导电层。在上述第2导电层和上述第3导电层之间的界面上，晶界的位置不连续。另外，上述基底层，是以Mo、Ti、Ta中的任意一个为主要成分的膜。上述第3导电层，被用作反射电极。

公开(公告)号：CN1696770A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200510069975.0

申请日：2005-05-11

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 栗田诚 ,  后藤顺

IPC: G02F1/133 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G09F9/00

CPC classification number: G02F1/133555 ,  G02F1/13439 ,  H01L27/12 ,  H01L27/124

Abstract: 本发明提供一种不增加成膜装置的成本，就能防止由透明导电膜的电池反应所引起的劣化的显示装置。所述显示装置包括：由以氧化铟为主要成分的透明导电膜形成的第1导电层、形成在上述第1导电层的上面的导电性的基底层、由以Al为主要成分的膜形成在上述基底层的上面的第2导电层、以及由与上述第2导电层相同的材料形成在上述第2导电层的上面的第3导电层。在上述第2导电层和上述第3导电层之间的界面上，晶界的位置不连续。另外，上述基底层，是以Mo、Ti、Ta中的任意一个为主要成分的膜。上述第3导电层，被用作反射电极。