公开(公告)号：CN1518049A

公开(公告)日：2004-08-04

申请号：CN03123107.1

申请日：2003-04-17

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 林原光男 ,  日高贵志夫 ,  堀内寿晃 ,  藤枝正 ,  沼田义道 ,  铃木修一

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/256 ,  H01J37/02 ,  H01J37/28

Abstract: 提供一种省空间且具有可搬运性、起动时间短、减少用户的心理负担的电子显微镜。作为构成要素，至少包括安装在真空容器上的电子源、真空泵、被测样品保持架以及电子射线检测器、控制电子射线的轨迹的电子透镜、基于通过电子射线检测器得到的信号显示图像的显示器、控制电源，且一体化这些要素，在显示器的背面侧设置真空容器、电子源、真空泵、电子射线检测器、电子透镜以及控制电源，从位于显示器的下方的部分进行被检测样品的取放。根据本发明，可以实现解决上述课题的、到处可以存放的用户的心理负担少的电子显微镜。

公开(公告)号：CN1282982C

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN02150222.6

申请日：2002-11-05

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 日高贵志夫 ,  沼田义道 ,  林原光男 ,  本田光利 ,  内藤孝 ,  儿玉英世

IPC: H01J9/02 ,  H01J1/304

CPC classification number: H01J1/304 ,  B82Y10/00 ,  H01J1/3048 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30469

Abstract: 本发明的目的在于提供与占空驱动对应的电场发射电子源和其每个元件的尺寸为50纳米以下的电极器件和电极器件的制造方法。本发明的电极器件和电极器件的制造方法的特征在于：通过在基板上对成为碳纳米管生成的催化剂的玻璃进行成膜，可进行纳米级的金属催化剂的形成和离散性控制，一边进行离散控制，一边在其上生成碳纳米管，通过在该纳米管上进行金属覆盖，提高了电脉冲的响应特性。

公开(公告)号：CN1801425A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200510137777.3

申请日：2002-11-05

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 日高贵志夫 ,  沼田义道 ,  林原光男 ,  本田光利 ,  内藤孝 ,  儿玉英世

IPC: H01J1/304 ,  H01J9/02 ,  H01L21/28 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  C01B31/00

CPC classification number: H01J1/304 ,  B82Y10/00 ,  H01J1/3048 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30469

Abstract: 本发明的目的在于提供与占空驱动对应的电场发射电子源和其每个元件的尺寸为50纳米以下的电极器件和电极器件的制造方法。本发明的电极器件和电极器件的制造方法的特征在于：通过在基板上对成为碳纳米管生成的催化剂的玻璃进行成膜，可进行纳米级的金属催化剂的形成和离散性控制，一边进行离散控制，一边在其上生成碳纳米管，通过在该纳米管上进行金属覆盖，提高了电脉冲的响应特性。

公开(公告)号：CN1417830A

公开(公告)日：2003-05-14

申请号：CN02150222.6

申请日：2002-11-05

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 日高贵志夫 ,  沼田义道 ,  林原光男 ,  本田光利 ,  内藤孝 ,  儿玉英世

IPC: H01J9/02 ,  H01J1/304

CPC classification number: H01J1/304 ,  B82Y10/00 ,  H01J1/3048 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30469

Abstract: 本发明的目的在于提供与占空驱动对应的电场发射电子源和其每个元件的尺寸为50纳米以下的电极器件和电极器件的制造方法。本发明的电极器件和电极器件的制造方法的特征在于：通过在基板上对成为碳纳米管生成的催化剂的玻璃进行成膜，可进行纳米级的金属催化剂的形成和离散性控制，一边进行离散控制，一边在其上生成碳纳米管，通过在该纳米管上进行金属覆盖，提高了电脉冲的响应特性。