公开(公告)号：CN103320758B

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201310053179.2

申请日：2013-02-19

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 杉本一等

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06

CPC classification number: B23B3/30 ,  B32B3/30 ,  C23C14/027 ,  C23C14/0635 ,  C23C14/0664 ,  C23C14/345 ,  C23C14/35 ,  C23C14/352 ,  Y10T428/24537 ,  Y10T428/2457 ,  Y10T428/24628 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/24983

Abstract: 本发明涉及硬质被膜、滑动部件、滑动部件的制造方法。提供一种硬质被膜，其长期保持硬质被膜的稳定的低摩擦特性。在含有硼和碳的硬质被膜(2)中，在表面分别具有多个凹部和凸部，所述凹部的碳浓度比所述凸部的碳浓度高，所述凸部的硼浓度比所述凹部的硼浓度高。另外，提供一种在基材(3)上设有含有硼和碳的硬质被膜的滑动部件的制造方法，所述硬质被膜采用非平衡磁控溅射法或高功率脉冲磁控溅射法的至少一种制作，使用含有硅、铬、钛、钨中的至少一种元素的靶、和碳化硼靶。

公开(公告)号：CN103320758A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310053179.2

申请日：2013-02-19

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 杉本一等

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06

CPC classification number: B23B3/30 ,  B32B3/30 ,  C23C14/027 ,  C23C14/0635 ,  C23C14/0664 ,  C23C14/345 ,  C23C14/35 ,  C23C14/352 ,  Y10T428/24537 ,  Y10T428/2457 ,  Y10T428/24628 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/24983

Abstract: 本发明涉及硬质被膜、滑动部件、滑动部件的制造方法。提供一种硬质被膜，其长期保持硬质被膜的稳定的低摩擦特性。在含有硼和碳的硬质被膜(2)中，在表面分别具有多个凹部和凸部，所述凹部的碳浓度比所述凸部的碳浓度高，所述凸部的硼浓度比所述凹部的硼浓度高。另外，提供一种在基材(3)上设有含有硼和碳的硬质被膜的滑动部件的制造方法，所述硬质被膜采用非平衡磁控溅射法或高功率脉冲磁控溅射法的至少一种制作，使用含有硅、铬、钛、钨中的至少一种元素的靶、和碳化硼靶。

公开(公告)号：CN102747324A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201210116013.6

申请日：2012-04-19

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 冈本晋哉 ,  杉本一等 ,  马场升

IPC: C23C14/06 ,  C01B31/02

CPC classification number: C23C28/04 ,  C01B32/05 ,  C01B32/914 ,  C01B32/949 ,  C23C14/024 ,  C23C14/0605 ,  C23C14/35 ,  C23C28/044 ,  C23C28/046 ,  Y10T428/12625

Abstract: 本发明涉及具备DLC膜的滑动部件，在具备类金刚石碳膜的滑动部件中，通过提高类金刚石碳膜对于剪切的附着性(耐刮擦性)，可以提高滑动部件的耐磨损性及长寿命化。该滑动部件是在基材上配置包含第一层的DLC膜，其特征在于，所述基材为包含选自V、Cr、Nb、Mo、Ta、W的至少一种的合金钢，所述第一层包含选自V、Cr、Nb、Mo、Ta、W的至少一种，相同的晶体结构从所述基材向第一层连续。