公开(公告)号：CN1698159B

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200480000559.9

申请日：2004-04-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 筱崎淳 ,  高瀬道彦 ,  古川弘之

IPC: H01J9/46 ,  H01J9/20 ,  H01J11/02 ,  H01L21/68 ,  C23C14/50

CPC classification number: H01J11/10 ,  C23C14/081 ,  C23C14/564 ,  H01J9/20 ,  H01J2209/012 ,  H01L21/68778

Abstract: 一种等离子显示屏的制造方法，其在向等离子显示屏的基板成膜中，通过恰当地控制成膜室的状态而能形成良好的膜。其是具有把前面基板(3)保持在基板保持器(30)上进行成膜的成膜工序的显示屏的制造方法，在成膜时基板保持器(30)被反复使用，成膜工序，把由反复使用而附着了膜的状态的基板保持器(30)与除去附着的膜的状态的基板保持器(30)混合在成膜室即蒸镀室(21)中并且进行该成膜工序，这样来减少蒸镀室(21)内的真空度等的状态变化。

公开(公告)号：CN1698159A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200480000559.9

申请日：2004-04-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 筱崎淳 ,  高瀬道彦 ,  古川弘之

IPC: H01J9/46 ,  H01J9/20 ,  H01J11/02 ,  H01L21/68 ,  C23C14/50

CPC classification number: H01J11/10 ,  C23C14/081 ,  C23C14/564 ,  H01J9/20 ,  H01J2209/012 ,  H01L21/68778

Abstract: 一种等离子显示屏的制造方法，其在向等离子显示屏的基板成膜中，通过恰当地控制成膜室的状态而能形成良好的膜。其是具有把前面基板(3)保持在基板保持器(30)上进行成膜的成膜工序的显示屏的制造方法，在成膜时基板保持器(30)被反复使用，成膜工序，把由反复使用而附着了膜的状态的基板保持器(30)与除去附着的膜的状态的基板保持器(30)混合在成膜室即蒸镀室(21)中并且进行该成膜工序，这样来减少蒸镀室(21)内的真空度等的状态变化。