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发明公开
激光振荡装置失效转让

公开(公告)号：CN103988378A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201380004221.X

申请日：2013-03-13

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 山本敦树 , 西村哲二

IPC: H01S3/134 , H01S3/036

CPC classification number: H01S3/036 , H01S3/10069 , H01S3/104 , H01S3/134 , H01S3/2232

Abstract: 本发明的激光振荡装置，在使激光振荡装置从停止状态启动时，使气体循环通路以及光谐振器的内部的滞留气体从通过气体压力控制器而打开的气体排出用阀排出。在打开时间运算器根据之前紧接的激光振荡装置的停止时间而算出的时间的期间，介由通过气体压力控制器打开的气体提供阀，将激光媒质气体提供器与气体提供用阀之间的配管内的激光媒质气体和滞留气体一起排出。由此，能降低使用阀数、削减成本，进而能抑制激光媒质气体的消耗。

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