公开(公告)号：CN1614886A

公开(公告)日：2005-05-11

申请号：CN200410085892.6

申请日：2004-11-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中村弘幸 ,  大西慶治 ,  中塚宏 ,  山口博司 ,  山川岳彥

IPC: H03H9/15 ,  H03H3/02 ,  H01L41/08

CPC classification number: H03H9/605 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/587

Abstract: 一种压电设备(100)包括第一和第二压电谐振器(110、120)。在第一压电谐振器(110)的结构中，在基片(101)上形成空腔(111)、下电极(112)、压电层(113)、和上电极(114)。在第二压电谐振器(120)的结构中，在基片(101)上形成空腔(121)、下电极(122)、压电层(123)、和上电极(124)。以上结构的压电设备(100)的一个特征是压电层(113、123)具有相同薄膜厚度而第一压电谐振器(110)的空腔(111)的深度(t1)与第二压电谐振器(120)的空腔(121)的深度(t2)不相同。