涂布喷嘴
    3.
    发明公开
    涂布喷嘴 审中-实审

    公开(公告)号:CN117920481A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202211266486.4

    申请日:2022-10-17

    Abstract: 本发明提供一种涂布喷嘴,能够使涂布的涂布材料的膜厚平均。涂布喷嘴包括:腔室部,连通于涂布材料供给部;供给面,配置于腔室部的一侧;排出面,与供给面相向地配置于腔室部的另一侧,用以排出涂布材料;多个供给孔,在供给面上以第一位置为圆心环状地排列;多个排出孔,在排出面上至少一直线状地排列,且多个排出孔的数量对应于多个供给孔的数量;以及多个连通孔路,从供给面上的多个供给孔分别对应地连通至排出面上的多个排出孔,其中多个连通孔路分别具有不同的长度,多个连通孔路包括大径部、以及直径较大径部短的小径部,多个连通孔路中的小径部,分别具有不同的直径或长度。

    排出装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108325765A

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201810050222.2

    申请日:2018-01-18

    CPC classification number: B05B1/14 B05B13/0431

    Abstract: 本发明涉及一种排出装置(10)。排出装置(10)具有壳体(30)和排出口(52),其中,所述壳体(30)具有使涂布材料(P)进行流动的流路(28);所述排出口(52)在壳体(30)的顶端面(36b)的宽度方向上排列设置多个,将涂布材料(P)向对象物排出。多个排出口(52)形成为非正圆形状,该非正圆形状在描绘出相同面积的假想正圆形状(IC)的情况下,具有比假想正圆形状(IC)的周长长的周长。另外,流路(28)在侧面剖视观察时,与排出口(52)垂直相交,并且以与排出口(52)相同的形状呈直线状延伸。据此,能够高精度地排出涂布材料,大幅提高涂布质量。

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