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公开(公告)号：CN111060466B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN201911395821.9
申请日：2019-12-30
Applicant: 暨南大学(CN)
Abstract: 本发明公开的一种便携式光学气体传感器，包括第一衬底和功能单元，所述功能单元至少包括第二衬底和依次制备在第二衬底上的热阻材料层、电绝缘介质层、光吸收层，以及设置在热阻材料层上的电极；所述光吸收层形成光栅，具有不同的吸收波长；所述电极与光吸收层隔离；本发明采用光吸收层和热阻材料结合的器件架构，使得在低成本和易与驱动电路集成的硅材料衬底上能通过光热电的效应实现具有波长选择性的红外探测，即获得大工作波长范围的单片集成的气体传感器检测能力，且能进行气体浓度检测和光谱检测，适用范围广。
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