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公开(公告)号：CN116642857A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310444103.6
申请日：2023-04-21
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明涉及光学传感技术领域，提出一种光学微腔结构、制备方法及氢气传感器，其中，光学微腔结构包括单模光纤，其微腔上吸附有钯纳米孔阵列薄膜；钯纳米孔阵列薄膜上刻蚀有致密的单层排列分布的纳米孔阵列。其制备方法包括：清洗玻璃基底；通过自组装技术使聚苯乙烯微球在所述玻璃基底上形成致密的单层排列分布；采用反应离子刻蚀技术对聚苯乙烯微球进行刻蚀，得到纳米孔阵列掩模模板；在样品上沉积钯膜；置于乙醇中进行超声处理，去除聚苯乙烯微球，得到钯纳米孔阵列薄膜；将二氧化硅毛细管熔接到单模光纤上，并在距离熔接头L的位置进行切割，得到开口的微腔；将钯纳米孔阵列薄膜转移到二氧化硅毛细管开口的微腔上，得到光学微腔结构。
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