公开(公告)号：CN1832973A

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200480022886.4

申请日：2004-08-19

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 武部洋子 ,  江田昌隆 ,  横小路修

IPC: C08F236/20 ,  C08L47/00 ,  G03F7/039 ,  G03F7/033

Abstract: 本发明提供具有官能团、在宽广的波长区域中具有高透明性的含氟聚合物和由该含氟聚合物构成的抗蚀用组合物。具有来源于下述式(1)所表示的含氟二烯环化聚合的单体单元的单元以及来源于其它的环化聚合的单体单元的单元或来源于丙烯酸类单体聚合的单体单元的单元的含氟共聚体，以及将它们作为基本聚合物的抗蚀组合物。CF2＝CFCH2CH(CH2C(CF3)2(OR1)CH2CH＝CH2(1)，式中，R1为氢原子、可以具有醚性氧原子的碳原子数小于等于20的烷基、碳原子数小于等于6的烷氧羰基或者CH2R2，R2为碳原子数小于等于6的烷氧羰基。

公开(公告)号：CN1993393A

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：CN200580025573.9

申请日：2005-07-22

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 武部洋子 ,  江田昌隆 ,  横小路修 ,  佐佐木崇

IPC: C08F36/20 ,  C07C33/42 ,  C07C43/17 ,  G03F7/039 ,  G03F7/11

CPC classification number: Y02P20/582

Abstract: 本发明提供具有官能团、在较宽的波长范围内具有高透明度的含氟聚合物及由该含氟聚合物形成的抗蚀用组合物及抗蚀剂保护膜组合物。具有下述式(1)表示的含氟二烯环化聚合而得的单体单元的含氟聚合物，CF2＝CFCF2C(CF3)(OR1)－(CH2)nCR2＝CHR3…(1)，式(1)中，R1表示氢原子、碳数20以下的烷基或(CH2)aCOOR4，其中a为0或1，R4为氢原子或碳数20以下的烷基，R2及R3分别独立地表示氢原子或碳数12以下的烷基，n表示0或2，但n＝0时，R1、R2及R3中的至少一方为氢原子以外的基团。