公开(公告)号：CN103974760A

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201280059764.7

申请日：2012-11-20

Applicant: 日酸田中株式会社

Inventor： 高见泽一彦 ,  三吉敬

IPC: B01F15/04 ,  B01F3/02 ,  B01F5/00

CPC classification number: B01F3/028 ,  B01F5/04 ,  B01F15/0408 ,  G05D11/131

Abstract: 本发明涉及一种气体混合装置(1)，包括：主气体流路(10)、附加气体流路(20)、混合部(32)以及流量控制部(40)。在上述主气体流路(10)上设置根据上述附加气体流路(20)内的压力调节主气体(G1)的压力的先导式压力调节部(14)以及检测上述主气体流路(10)的流量的质量流量计(15)。在上述附加气体流路(20)上设置调节附加气体(G2)的流量的附加气体流量调节器(24)。上述流量控制部(40)根据上述质量流量计(15)检测出主气体(G1)的流量通过上述附加气体流量调节器(24)对附加气体(G2)的流量进行控制。

公开(公告)号：CN103974760B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201280059764.7

申请日：2012-11-20

Applicant: 日酸田中株式会社

Inventor： 高见泽一彦 ,  三吉敬

IPC: B01F15/04 ,  B01F3/02 ,  B01F5/00

CPC classification number: B01F3/028 ,  B01F5/04 ,  B01F15/0408 ,  G05D11/131

Abstract: 本发明涉及一种气体混合装置(1)，包括：主气体流路(10)、附加气体流路(20)、混合部(32)以及流量控制部(40)。在上述主气体流路(10)上设置根据上述附加气体流路(20)内的压力调节主气体(G1)的压力的先导式压力调节部(14)以及检测上述主气体流路(10)的流量的质量流量计(15)。在上述附加气体流路(20)上设置调节附加气体(G2)的流量的附加气体流量调节器(24)。上述流量控制部(40)根据上述质量流量计(15)检测出主气体(G1)的流量通过上述附加气体流量调节器(24)对附加气体(G2)的流量进行控制。