公开(公告)号：CN1041011A

公开(公告)日：1990-04-04

申请号：CN89106560.1

申请日：1989-07-07

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 神尾宽 ,  芳延 ,  风间彰

IPC: C30B15/02 ,  C30B15/04 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B29/06 ,  C30B15/04 ,  C30B15/28

Abstract: 一种硅单晶制造方法和设备，能够定量且稳定地馈送掺杂剂。按硅单晶的重量或者馈入的硅原料的重量，计算出熔硅中掺杂的浓度，预计添加掺杂剂(10)的时间与数量。掺杂剂采用同样浓度与重量，定量极准的掺杂片形式，连续或间歇地由圆筒(91)、活塞(92)和活塞操纵装置(93)组成的掺杂剂供给装置馈送。

公开(公告)号：CN1020767C

公开(公告)日：1993-05-19

申请号：CN89106560.1

申请日：1989-07-07

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 神尾宽 ,  芳延 ,  风间彰

IPC: C30B15/02 ,  C30B15/04 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B29/06 ,  C30B15/04 ,  C30B15/28

Abstract: 一种硅单晶制造方法和设备，能够定量且稳定地馈送掺杂剂。按硅单晶的重量或者馈入的硅原料的重量，计算出熔硅中掺杂的浓度，预计添加掺杂剂(10)的时间与数量。掺杂剂采用同样浓度与重量，定量极准的掺杂片形式，连续或间歇地由园筒(91)、活塞(92)和活塞操纵装置(93)组成的掺杂剂供给装置馈送。