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公开(公告)号:CN117836249A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202280056675.0
申请日:2022-07-29
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Inventor: 武田都
Abstract: 本发明的支承玻璃基板,其特征在于,是一种用于支承加工基板的支承玻璃基板,作为玻璃组成,以摩尔%计,含有SiO2 50~80%、Al2O3 0~25%、B2O3 5.5~20%、Li2O+Na2O+K2O 0~5%、MgO 0~15%、CaO 1~25%、SrO 0~10%、BaO 0~10%,摩尔比(MgO+SrO+BaO)/CaO为1.5以下,30~380℃的平均热膨胀系数为35×10-7/℃~60×10-7/℃。
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