公开(公告)号：CN1236997A

公开(公告)日：1999-12-01

申请号：CN99109482.4

申请日：1999-05-20

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 畑野启介 ,  山田彻

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14687 ,  H01L27/14812 ,  H01L27/14831

Abstract: 一种固态成象器件包括:按两维矩阵设置的光电转换部分;分别与每个光电转换部分相邻设置的电荷读出部分;分别与每个光电转换部分相邻设置的电荷转移部分;和通过与开口部分分开的分开部分彼此分隔开的电荷转移电极,每个电极加倍,作为电荷读出电极,在光电转换部分中对应的一个上设置并形成有一个开口部分,以便通过绝缘膜覆盖光电转换部分,电荷读出部分,电荷转移部分,和其周边部分中对应的一个。

公开(公告)号：CN1215927A

公开(公告)日：1999-05-05

申请号：CN98119925.9

申请日：1998-09-02

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 畑野启介

IPC: H01L27/148 ,  H01L21/82

CPC classification number: H01L27/14692 ,  H01L27/14812 ,  H01L27/14818

Abstract: 将第二氧化膜105的膜厚设定为大于第一栅氧化膜103的膜厚,使得在相同电压施加在两个电极上时,各电极下面的沟道电势为±0.2V或更小。所述第二栅氧化膜105是利用CVD方法等形成的。