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公开(公告)号:CN102762965A
公开(公告)日:2012-10-31
申请号:CN201080064016.9
申请日:2010-11-19
Applicant: 日本电气株式会社
CPC classification number: G01J5/10 , G01J2005/068 , G01N21/35 , G01N21/3504 , H01L37/02
Abstract: 提供了一种红外线传感器,其能够以简单的结构进行包括基于温度的检测和基于气体的检测的多种不同类型的检测,并且允许尺寸和成本方面的降低。红外线传感器(1)具有:第一红外线检测单元(31),其包括至少一个红外线检测元件(20)并且接收和检测环境红外线,该至少一个红外线检测元件包括其物理性质取决于入射的红外线的性质而改变的红外线检测材料(22);以及第二红外线检测单元(32),其包括至少一个红外线检测元件(20),该至少一个红外线检测元件具有与第一红外线检测单元(31)的红外线检测元件相同的元件结构,该第二红外线检测单元被照射有具有特定物理性质的用于测量的红外线照射(X),并且检测所述红外线(X)的物理性质的变化。第一红外线检测单元(31)和第二红外线检测单元(32)位于同一基板(10)上。
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公开(公告)号:CN102668598B
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201080057244.3
申请日:2010-12-14
Applicant: 日本电气株式会社
Abstract: 粘弹性体被设置在振动膜和支撑振动膜的支撑部件之间,其中振动膜由于压电振动器的振动而振动,该压电振动器由压电元件和基部构成。粘弹性体衰减被从支撑部件传递到振动膜的振动,并且将是与振动膜的主表面平行的振动的、振动膜的表面方向振动转换成振动膜在与基本表面方向垂直的方向上的振动。振动膜被以在中心处具有开口的环形形式形成,并且基部被共轴地连接到振动膜的开口。
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公开(公告)号:CN103415758A
公开(公告)日:2013-11-27
申请号:CN201280009399.9
申请日:2012-02-16
Applicant: 日本电气株式会社
CPC classification number: G01J5/04 , G01J5/0225 , G01J5/024 , G01J5/0806 , G01J5/0862 , G01J5/34 , H04N5/33
Abstract: 根据本发明的红外检测传感器阵列的特征在于具备衬底、穿过衬底的至少一个孔、设置到衬底一侧的第一红外检测元件以及设置在衬底另一侧上以便至少部分覆盖孔的第二红外检测元件。
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公开(公告)号:CN102668598A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201080057244.3
申请日:2010-12-14
Applicant: 日本电气株式会社
Abstract: 粘弹性体(14)被设置在振动膜(13)和支撑振动膜(13)的支撑部件(15)之间,其中振动膜(13)由于压电振动器(10)的振动而振动,该压电振动器(10)由压电元件(11)和基部(12)构成。粘弹性体(14)衰减被从支撑部件(15)传递到振动膜(13)的振动,并且将是与振动膜(13)的主表面平行的振动的、振动膜(13)的表面方向振动转换成振动膜(13)在与基本表面方向垂直的方向上的振动。振动膜(13)被以在中心处具有开口(13a)的环形形式形成,并且基部(12)被共轴地连接到振动膜(13)的开口(13a)。
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