公开(公告)号：CN101059586A

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：CN200710090483.9

申请日：2007-04-12

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 渡边真也 ,  佐久间直树

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  G02B6/132

CPC classification number: G02B6/4228

Abstract: 本发明提供了一种包括光波导部分和光器件安装部分的光波导器件。在高温退火后对形成其上要安装发光器件的底座块的掩膜进行图案化。因此即使器件在制造过程中经历高温热处理，掩膜也不会受到影响。这使得可以非常精确地形成底座块。因此，可以在把发光器件安装在底座块上时实现非常精确的光耦合。

公开(公告)号：CN101059586B

公开(公告)日：2010-04-07

申请号：CN200710090483.9

申请日：2007-04-12

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 渡边真也 ,  佐久间直树

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  G02B6/132

CPC classification number: G02B6/4228

Abstract: 本发明提供了一种包括光波导部分和光器件安装部分的光波导器件。在高温退火后对形成其上要安装发光器件的底座块的掩膜进行图案化。因此即使器件在制造过程中经历高温热处理，掩膜也不会受到影响。这使得可以非常精确地形成底座块。因此，可以在把发光器件安装在底座块上时实现非常精确的光耦合。